• 分为两大子类型：

  ✅ R 系列：交叉滚子导轨，短行程 ±12.5mm，光学对位主力

  ✅ L 系列：线性滚珠导轨，长行程 ±50mm，大范围扫描

后缀规则通用：-R标准润滑 / -C洁净室 / -V真空低析出；-BM=2 相步进电机；-R/-RRR电机镜像反向；标配 5 相东方步进电机；可选外置光栅闭环。

一、核心型号参数总表

1）XA10A（单轴 X 滑台）

2）YA10A（一体化 XY 平台）

二、XA10A VS YA10A 选型核心对比

典型运用场景

1. 光通信行业（YA10A-R202 主力机型）

2. 半导体封装与检测

• 固晶机、倒装芯片、微型元器件 XY 精密对位

• 探针台、芯片微观缺陷显微观测平台

• Mini/Micro LED 芯片像素检测、光学量测

洁净工况选用 -C；真空腔体选型 -V

3. 精密光学 & 测量仪器

4. 显示、新能源检测