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日本进口KOHZU神津精机电动 Z 升降平台
产品型号: ZA05A-W101
产品简介:

行业标准组合: YAxxA 一体化 XY + ZAxxA 楔形 Z 轴 = 标准精密 XYZ 耦合平台(光通信、半导体通用)

详细介绍

日本进口KOHZU神津精机电动 Z 升降平台
ZA 系列【楔形升降 Z 台|主力光学耦合款】

楔块斜面传动 + 交叉滚子导轨;超薄机身、高垂直度、低速无爬行、断电自锁防坠落

✅ 适合:短行程精密对焦、光纤耦合、芯片对位(XYZ 三轴标配 Z 轴)

❗ 行程普遍≤±30mm;垂直承载有限

XA 系列立式安装【滚珠丝杠直驱长行程 Z 轴】

直接将 XA16F / XA20F 单轴竖直安装充当 Z 升降;线性导轨、丝杠直推

✅ 适合:大行程升降、重载样品抬升、大范围扫描

❗ 机身高度大;断电无自锁,需要刹车;垂直度弱于楔形 ZA

ZA 楔形电动 Z 轴 型号命名规则

ZA07A-W2C01
  • ZA:电动楔形 Z 升降台

  • 数字:台面尺寸 (04/05/07/10/16)

  • A:交叉滚子精密系列;F:蒙布朗重载长行程 Z 轴

  • W / X:传动代码(导程区分)

  • 环境后缀:

    -R标准润滑 / -C洁净室 / -V真空;-BM=2 相步进电机

  • -R末尾:电机镜像反向机型

二、主流 ZA 系列参数汇总表(市面常用型号)

紧凑型精密楔形 Z 轴(A 系列・交叉滚子导轨,搭配 YA04/05/07/10/16A)

型号 台面尺寸 有效行程 丝杆导程 1/20 微步分辨率 重复定位 垂直额定负载 自重
ZA04A-W101 40×40mm ±4mm 0.5mm 0.025 μm ≤±0.2μm 3kgf 0.23kg
ZA05A-W101 50×50mm ±4mm 0.5mm 0.025 μm ≤±0.2μm 4kgf 0.35kg
ZA07A-W2C02 70×70mm ±6mm 1.0mm 0.05 μm ≤±0.2μm 8kgf 0.62kg
ZA10A-W2C02 100×100mm ±7mm 1.0mm 0.05 μm ≤±0.3μm 10kgf 1.3kg
ZA10A-X102 100×100mm ±12.5mm 0.5mm 0.025 μm ≤±0.3μm 10kgf 1.6kg
ZA16A-W2C01 160×124mm ±8mm 1.0mm 0.05 μm ≤±0.5μm 20kgf 3.8kg
ZA16A-X101 160×124mm ±30mm 1.0mm 0.05 μm ≤±0.5μm 10kgf 6.2kg

蒙布朗重载长行程 Z 轴(ZAxxF / ZAxx-32F 蜗轮蜗杆结构)

型号 台面尺寸 行程 传动形式 垂直负载 重复定位
ZA16A-32F01 160×160mm ±25mm 蜗轮蜗杆 + 四面滚轮导轨 50kgf ≤±0.3μm
ZA25A-W1C 250mm 级 ±10mm 楔形机构 50kgf ≤±0.5μm

三、ZA 楔形 Z 轴 通用技术特点

  1. 驱动:标配 5 相东方步进电机,可选 2 相 -BM

  2. 核心优势

    • 楔块机构自带机械自锁,断电台面不下坠

    • 交叉滚子导轨,俯仰 / 偏摆极小、垂直度优异

    • 超薄高度,适合设备内部狭小空间堆叠 XYZ

    • 低速运动无爬行,自动对焦、光纤耦合黄金选择

  3. 短板

    行程上限低;行程越大,允许垂直负载下降;不适合高速连续往复运动

四、两种 Z 轴方案横向对比

对比项目 ZA 楔形升降 Z 轴(推荐耦合对焦) XA 单轴竖直安装丝杠 Z 轴(大行程升降)
传动结构 楔块斜面 + 滚珠丝杠 滚珠丝杠直驱
导轨 交叉滚子导轨 线性滚珠导轨
典型行程 ±2.5 ~ ±30mm ±50 ~ ±250mm
垂直度 ji高,适合光学对焦 一般
断电防坠落 自带自锁 无自锁,需选配刹车电机
整机高度 超薄,适合堆叠 XYZ 机身高大
运动特性 低速平稳、无爬行 可高速长距离移动
典型负载 3~50kgf *高 100kgf(水平),竖直建议减半
标准搭配 YA 一体化 XY 基座 XA 堆叠 XY、大板检测平台
适用场景 光纤耦合、显微自动对焦、芯片对位 基板大范围抬升、重载上下料

典型运用场景

1. 光通信行业(ZA 系列*大应用)

光模块、光纤阵列、硅光芯片三维耦合;Z 轴自动对焦寻峰;无源器件光路微调。

2. 半导体精密设备

固晶机、倒装芯片对位;显微探针台 Z 轴调焦;Mini/Micro LED 芯片光学检测;晶圆膜厚测量垂直定位。

3. 精密光学 & 测量仪器

白光干涉仪、激光共聚焦、轮廓仪样品垂直对焦;显微镜自动化载台;光谱仪样品升降。

4. 真空 / 无尘设备

选用 -V真空规格(MVZA 真空系列)、-C洁净规格,用于真空镀膜腔体、无尘光学检测。