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KOHZU神津精机RA系列电动旋转平台θ 轴
产品型号: RA07A-T02
产品简介:

特点 ●使用蜗轮和蜗杆的旋转平台结构紧凑、重量轻。 ●超高分辨率型使用一根电缆,可连接 5 条电机导线。

详细介绍

KOHZU神津精机RA 系列 电动旋转平台θ 轴

一、产品线大类区分(选型**要点)

神津电动旋转台 RA 系列 分为两大结构,用途:
  1. W 型(蜗轮蜗杆回转台|大范围旋转)

    型号:RAxxA-W01/W02

    旋转范围:±135°~±177°,可实现大角度回转;角接触轴承;自带蜗轮蜗杆自锁;适合偏振调整、光纤旋转耦合、样品大范围旋转。

真空版本:MVRAxxA-W(真空腔体专用低析出润滑)
  1. T 型(楔块式微调旋转台|小角度精密调芯)

    型号:RAxxA-T01/T02

    旋转范围:±3° / ±5°(极小角度);楔块 + 交叉滚子导轨;端面跳动、偏心极小;XYθ 三轴对准黄金搭配,半导体 / 光通信芯片对位主力。

命名释义
  • RA:电动旋转 θ 平台

  • 04/05/07/10/16:台面规格

  • W:蜗轮蜗杆大范围回转

  • T:楔块式小角度微调

  • 后缀-R:电机镜像反向安装

    环境后缀:-R标准 / -C洁净 / -V真空(MVRA 系列)

    标配:5 相东方步进电机;可选 -BM两相电机、外置光栅闭环

二、主流型号参数汇总表

1)T 型|楔块式小角度微调旋转台

型号 台面尺寸 旋转行程 1/20 微步分辨率 角度重复定位 水平额定负载 端面跳动 偏心 自重
RA05A-T01 50×50mm ±3° 0.0002° ≤±0.002° 6kgf ≤5μm ≤5μm 0.5kg
RA07A-T02 70×70mm ±5° 0.0002° ≤±0.002° 8kgf ≤5μm ≤5μm 0.9kg
RA10A-T02 100×100mm ±5° 0.0002° ≤±0.002° 15kgf ≤6μm ≤6μm 1.53kg
RA16A-T01 160×160mm ±5° 0.0002° ≤±0.003° 40kgf ≤8μm ≤8μm 4.0kg

2)W 型|蜗轮蜗杆大范围回转旋转台

型号 台面 旋转范围 1/20 微步分辨率 角度重复定位 水平负载 *高转速 自重
RA04A-W01 Φ40mm ±177° 0.0002° ≤±0.002° 4kgf 20°/s 0.45kg
RA05A-W02 Φ49mm ±157° 0.0002° ≤±0.002° 4kgf 20°/s 0.65kg
RA07A-W02 Φ68mm ±135° 0.0002° ≤±0.002° 6kgf 20°/s 1.2kg
RA10A-W01 Φ98mm ±140° 0.0002° ≤±0.002° 10kgf 15°/s 2.3kg
RA16A-W01 Φ140mm ±155° 0.0002° ≤±0.003° 20kgf 12°/s 5.2kg

四、通用技术特点

  1. 驱动:标配 5 相步进电机,运行振动低;支持微步细分,角度分辨率可达 0.0002°

  2. 精度指标

    • 角度重复定位:≤0.002°

    • T 型楔块台端面跳动、径向偏心是核心优势,适合光学对准

    • 可选外置光栅闭环,消除传动空程误差

  3. 材质:铝合金,白色哑光阳极氧化

  4. 限位:内置原点光电传感器 + 机械硬限位

  5. 环境规格

    • 标准车间:-R

    • Class1000 无尘:-C

    • 真空腔体:选用 MVRA 真空系列(不可直接普通 RA 改造)

五、典型运用场景

1. 光通信行业(主力应用)

  • 光模块、光纤阵列、硅光芯片 XYθ 三维自动耦合对准

  • 偏振控制器、波片大范围角度旋转(W 型回转台)

  • 无源器件、透镜模组角度调芯

2. 半导体精密设备

  • 探针台、固晶机、倒装芯片 XYθ 精密对位

  • Mini/Micro LED 芯片像素旋转校准、光学检测

  • 晶圆外观检测、薄膜测量样品旋转定位

  • 真空镀膜、溅射腔体内部样品姿态调整(MVRA 真空型号)

3. 精密光学 & 测量仪器

  • 偏振光学系统、干涉仪光路旋转调整

  • XRD、同步辐射、光谱仪样品旋转台

  • 激光轮廓仪、显微系统多角度样品观测

4. 车载光学、消费电子组装

车载摄像头模组自动对焦、透镜角度校准;镜头模组自动化装配调芯