成为连接全球半导体资源 与国内终端需求的核心桥梁
全 国 服 务 电 话 13530227878
KOHZU神津精机RA 系列 电动旋转平台θ 轴
W 型(蜗轮蜗杆回转台|大范围旋转)
型号:RAxxA-W01/W02
旋转范围:±135°~±177°,可实现大角度回转;角接触轴承;自带蜗轮蜗杆自锁;适合偏振调整、光纤旋转耦合、样品大范围旋转。
真空版本:MVRAxxA-W(真空腔体专用低析出润滑)
T 型(楔块式微调旋转台|小角度精密调芯)
型号:RAxxA-T01/T02
旋转范围:±3° / ±5°(极小角度);楔块 + 交叉滚子导轨;端面跳动、偏心极小;XYθ 三轴对准黄金搭配,半导体 / 光通信芯片对位主力。
命名释义
RA:电动旋转 θ 平台
04/05/07/10/16:台面规格
W:蜗轮蜗杆大范围回转
T:楔块式小角度微调
后缀-R:电机镜像反向安装
-R
环境后缀:-R标准 / -C洁净 / -V真空(MVRA 系列)
-C
-V
标配:5 相东方步进电机;可选 -BM两相电机、外置光栅闭环
-BM
驱动:标配 5 相步进电机,运行振动低;支持微步细分,角度分辨率可达 0.0002°
精度指标
角度重复定位:≤0.002°
T 型楔块台端面跳动、径向偏心是核心优势,适合光学对准
可选外置光栅闭环,消除传动空程误差
材质:铝合金,白色哑光阳极氧化
限位:内置原点光电传感器 + 机械硬限位
环境规格
标准车间:-R
Class1000 无尘:-C
真空腔体:选用 MVRA 真空系列(不可直接普通 RA 改造)
光模块、光纤阵列、硅光芯片 XYθ 三维自动耦合对准
偏振控制器、波片大范围角度旋转(W 型回转台)
无源器件、透镜模组角度调芯
探针台、固晶机、倒装芯片 XYθ 精密对位
Mini/Micro LED 芯片像素旋转校准、光学检测
晶圆外观检测、薄膜测量样品旋转定位
真空镀膜、溅射腔体内部样品姿态调整(MVRA 真空型号)
偏振光学系统、干涉仪光路旋转调整
XRD、同步辐射、光谱仪样品旋转台
激光轮廓仪、显微系统多角度样品观测