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DIAVAC大亚真空KRP活塞式油旋转真空泵
KRP 是大抽速重型前级泵,和 PZ/GHP 旋片泵定位完全错开;PZ/GHP 中小体量、风冷;KRP 大型水冷、超大抽速,适配大型真空炉、大型镀膜机组。
表格
多台扩散泵机组共用前级,作为主前级粗抽泵 成套方案:KRP + DIAVAC 扩散泵 + HV 挡板阀 + PC-3DA 真空计时序控制
大容积腔体快速粗抽;去除工件释放大量水汽、工艺气体;开启气镇长期运行。
变压器、电机线圈真空浸漆行业日系设备主流配置。
KRP+DMB 罗茨机组,组成高抽速粗真空机组,快速把腔体抽到 1Pa 区间。
大容积真空腔体预抽系统。