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DIAVAC大亚真空DMB罗茨泵机械增压泵
DMB 罗茨泵不能独立运行,必须搭配前级泵(KRP / PZ / GHP 油封泵)串联组成真空机组;泵腔内部无润滑油,转子无接触,主打大抽速快速粗抽,日系大型真空炉、连续镀膜标配。
双 8 字形转子同步旋转,转子与泵壳、转子相互间保留微小间隙、无摩擦;无内压缩结构,依靠前级泵预先降低出口压力。 启动逻辑:先开前级泵 → 腔体压力降到允许启动压力 → 再启动 DMB 罗茨泵,防止压差过载过热咬死。
表格
60Hz 工况抽速提升约 20%;电源标准:三相 AC200V 日系标准,可定制 380V 改制。
大容积腔体快速粗抽,去除工件释放水汽、气体;搭配 3DA 真空计压力联锁全自动运行。
作为扩散泵系统前置粗抽机组,快速把腔体预抽至扩散泵启动压力。
大量水蒸气工况,开启气镇配合机组稳定脱泡。
连续去除物料挥发性成分,可凝蒸汽耐受性优于单纯旋片泵。
大容量腔体快速预抽系统。