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NAGANO KEIKI长野计器高纯气体压力变送器
产品型号：ZT17
产品简介：

长野计器半导体赛道全部以**压力测量**为核心，主打高纯工艺气体、超纯水、湿法药液、洁净室微差压监测，广泛配套**气体面板 / Gas Box、刻蚀、薄膜沉积、清洗、扩散炉、晶圆设备、FFU**；接口主流 **1/4" VCR**，提供 **UC/EP/BA/GP** 洁净等级（UC *高洁净，高纯气**）。
详细介绍
NAGANO KEIKI长野计器高纯气体压力变送器


  • 定位：高纯工艺气体专用压力传感器
  • 接液：SUS316L 一体焊接，极小死角，支持 UC/EP 洁净规格
  • 接口：1/4 VCR（标配）、NPT
  • 量程：-0.1～20MPa；支持表压 / 复合压 / **压力
  • 输出：4–20mA / 0–5V / 1–5V
  • 应用：Gas Box、MFC 后端压力监测、特种气体供气柜、刻蚀 / 沉积设备气路

说明：仅统计纯模拟输出变送器（无内置显示屏）；ZT60/ZT67 属于数字压力表（带显示 + 开关量），文末单独备注；洁净等级定义：UC（超洁净，**特种气**）＞EP＞BA＞GP（通用高纯） 标准接口：1/4"VCR 公头；可选 3/8" VCR、UJR、CVC；接气部 SUS316L 一体焊接，UC 规格可选 Co-Ni 合金传感元件

系列型号 定位等级 精度 (23℃) 常用量程（表压 / 复合压 / 绝压） 供电 & 输出 工艺介质温度 洁净可选等级 典型运用场景 核心特点
ZT15 半导体主力标准型 ±0.5% FS / ±1.0% FS（可选） 复合压：-0.1~0.3/0.5/1/2MPa表压：0~0.3/0.5/1/2/3.5/10/20MPa绝压：0~0.3/0.5/1MPa abs DC24V4~20mA（两线）/1~5V DC −20～70℃ UC / EP / GP 气体面板 Gas Box、特种气体供气柜、MFC 后端、刻蚀 / PVD/CVD 设备气路、大宗高纯 N2/Ar/H2 管路 行业标杆，死体积极小；零调 / 量程可调；响应＜1ms；出货量*大
ZT15z ZT15 集成化改版（1.5 集成模组适配） ±0.5% / ±1.0%FS 同 ZT15 DC24V4~20mA /1~5V −20～70℃ UC / EP / GP 1.5 集成阀组、紧凑型气体分配模块、小型 VMB 阀箱 兼容新一代集成式气路安装接口，体积优化，成本友好
ZT11 高精度 + 防爆可选通用型 ±0.5%FS低温漂 ±0.02% FS/℃ 复合压：−0.1~0.3~2MPa表压：0~0.3~20MPa高压*高支持 20MPa DC24V4~20mA /1~5V −20～70℃ UC / EP / GP 易燃易爆工艺气体（SiH4、NH3 等）、高压特种气体管路、外延设备气路；可选购增安防爆 ec 认证 IP67 防护；支持侧面外部调零；防爆规格是同系列独有优势
ZT17 高温工况专用变送器 ±0.5%FS 复合压：−0.1~0.3/0.5/1MPa表压：0~0.3/0.5/1/2MPa DC24V4~20mA /1~5V 介质−20～200℃ EP/GP（UC 可定制） 扩散炉、LPCVD、炉体近端高温工艺气监测；无需加长引压管 耐高温核心元件，解决炉区高温环境测量漂移；支持 1.125"W-seal 平面安装
EJ95 防爆本安型**变送器 ±0.5%FS −0.1～20MPa 全量程覆盖 DC24V 4~20mA −20～70℃ UC/EP 剧毒、易燃易爆特种气体、海外项目气体面板 具备本安防爆认证；多用于海外 Fab、高危特种气输送系统

补充区分：带显示一体式

型号 类别 输出配置 应用位置
ZT60 数字压力表 4~20mA 模拟量 +两路 NPN/PNP 开关量 + LED 显示 气路面板就地压力显示 + 高低压联锁报警
ZT67 小型超薄数字压力表 模拟量 + 两路比较输出 紧凑型阀箱、机台内部狭小空间安装