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NAGANO KEIKI长野计器半导体洁净机械压力表
产品型号:GW11
产品简介:

长野计器半导体赛道全部以**压力测量**为核心,主打高纯工艺气体、超纯水、湿法药液、洁净室微差压监测,广泛配套**气体面板 / Gas Box、刻蚀、薄膜沉积、清洗、扩散炉、晶圆设备、FFU**;接口主流 **1/4" VCR**,提供 **UC/EP/BA/GP** 洁净等级(UC *高洁净,高纯气**)。

详细介绍
NAGANO KEIKI长野计器半导体洁净机械压力表

  • φ50/φ60 表盘,全 SUS316L,洁净室组装
  • UC/EP 洁净等级,1/4 VCR 接口
  • 用途:气体面板本地压力目视监测,机台旁就地压力表
适用:高纯气体面板、VMB 阀箱、特气供气柜;支持 UC / EP / BA 洁净等级;标准接口 1/4" VCR(9/16-18UNF) 接气部:SUS316L;精度标准 ±1.5%FS;工作温度 -10~60℃


主型号 表盘 安装形式 感压结构 核心特点 典型应用场景
GW11 φ50|50mm 径向(下出螺纹,A 框) 波登管式 行业*通用标准款;体积适中;现货量大 Gas Box、供气柜、常规阀组就地显示;搭配 ZT15 变送器配套使用
GW16 φ60|60mm 轴向(背部螺纹,D 框面板嵌入式) 波登管式 表盘更大,读数清晰;面板安装 阀箱面板嵌入、设备柜体正面安装
GW12 φ60|60mm 径向(下出螺纹,A 框) 波登管式 大表盘径向;支持高压量程*高至 100MPa 高压特种气体管路、大宗高纯气体总管监测
GW17 φ72|72mm 轴向嵌入式(D 框) 波登管式 *大尺寸 GW 系列;远距离观察 大型集中供气面板、厂区总管
GW28 φ28|28mm 径向 / 轴向可选 隔膜式(重点) 极小死体积,极易吹扫;隔膜结构无滞留死角;紧凑型 新一代集成 VMB 1.5 模组、密集小型阀箱、狭小安装空间、腐蚀性特气(SiH₄、卤素气体**)
GW35 φ35|35mm 径向 / 轴向 波登管 中小型紧凑型,介于 GW28 与 GW11 之间 小型分体式气路模块、光电设备气路
GW45 φ45|45mm 径向 / 轴向 波登管 通用紧凑型,晶圆设备内置气路 刻蚀、PVD 机台内置辅助监测

核心场景

  1. 标准特气供气柜就地压力表
  2. 常规 Gas Box 气体面板
  3. 刻蚀、PVD、CVD 设备次级气路监测
  4. 大宗高纯气体(N₂、Ar、O₂、He)支路压力显示 💡定位:晶圆厂用量*大通用款,新项目标配基础款