一、ZD / ZC 工业不锈钢止回阀（卡套接头，通用工况）

通用参数

ZD/ZC 型号列表（卡套）

后缀说明：ZD = 低压开启（2kPa）；ZC = 较高开启压力（7kPa）；可选择弹簧更换；适合水、冷却水、压缩空气、一般溶剂；不用于半导体 UHP 特气。

二、CHW 系列 全焊接 UHP 止回阀（微型，VTF 金属密封）

全焊接结构，无泄漏，极小死腔；用于阀箱 VMB 支路、分析取样回路

基础参数

特点：全焊死，不可拆解；高纯有毒可燃气体，微小流量回路。

三、CHY 系列 弹簧提升式 UHP 大流量止回阀（半导体主力）

对标 HFD 隔膜阀管路，VMB 主管 / 大宗气体支管，可维护拆卸，Y 型流道弹簧止回。

基础参数

CHY 型号‑Cv 参数

后缀：‑VF 内螺纹；‑TW 焊接；‑PW 管道对焊；‑F 锻造本体；‑EP 电解抛光；

例：CHY‑16VM‑F‑EP：1"VTF 外螺纹，锻造阀体 EP 抛光，半导体 VMB 大宗气体止回。

四、CH‑L 系列 大口径升降止回阀（2‑1/2"~8" 主管）

大宗气体总管、工厂主供气，大流量，弹簧提升止回

• 材质：SUS316L；压力：150PSI /300PSI 两档；接口对焊法兰；

• 通径：2‑1/2"、3"、4"、6"、8"；Cv *大可达 220；

• 用于厂区大宗气体总管 N₂/Ar/O₂，防止总管回流。

四大系列选型对比

应用场景

1. 半导体晶圆制造（CHW / CHY / CHY‑F 优先）

• VMB 阀箱：防止特气、大宗气体（N₂、Ar、O₂、H₂）倒流，保护钢瓶、减压阀；

• 工艺设备供气支管，蚀刻沉积设备辅助气路；

• CHY‑F 锻造 + EP，颗粒控制严苛的 UHP 超高纯管路；

• CHW 用于取样、分析小回路。

2. 光伏、锂电

   惰性保护气体管路，防止气体回流损坏气源端。
3. 普通工业流体 ZD/ZC

   冷却水循环、设备水冷回路；压缩空气、清洗溶剂；机床、测试设备，RoHS。
4. 厂区总管 CH‑L

   大宗气体主管道，大流量防止逆流，厂区供气站。