SANVAC F735 电阻加热真空蒸镀机

产品特点

• 专用于金及金合金蒸镀，针对 Au、AuZnNi、AuGeNi 开发，贵金属成膜均匀稳定，膜层一致性好。
• 双模式操作，手动调试适合实验摸索；程序自动模式可固化工艺参数，可重复实验结果，适合研发打样。
• 标配基板冷却机构，避免基材受热损伤，适配热敏性基板试样。
• 采用涡轮分子泵主排气，抽速稳定，真空环境洁净，镀膜杂质少。
• 整机小型化，占地面积小，实验室、研发车间摆放部署方便。
• 日本原厂整机，真空腔体密封性优异，故障率低，维护简单。

对比优势

• 金合金工艺适配更强：原厂针对 AuZnNi、AuGeNi 这类合金蒸发做工艺匹配，普通蒸镀设备做合金镀膜易出现成分偏移，F735 成膜成分更可控。
• 基板冷却为标配，同价位很多机型为选配，热敏基材实验不用额外改造设备。
• 手 / 自动一键切换，研发场景灵活，既适合摸索实验，也可做小批量试样复现。
• SANVAC 整机真空系统匹配度高，漏气率低，减少贵金属材料浪费。
• 设备体积紧凑，不需要复杂基建改造，开箱即可投入实验。

运用场景

• MEMS 器件、微电子试样金及金合金薄膜蒸镀实验；
• 高校、科研院所材料真空镀膜研发打样；
• 传感器、精密元器件电极层蒸镀；
• 小试样 Au、AuZnNi、AuGeNi 贵金属膜层制备；
• 新产品前期工艺验证、试样制备，非大批量连续生产。