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日本SANVAC RD-1300R 9310 高真空电阻加热蒸镀机
产品型号:
产品简介:

产品定位:日本 SANVAC 小型科研型电阻加热蒸镀装置,订货编码 code:9310,内置晶振膜厚计,面向实验室、科研院所做薄膜制备实验

详细介绍

SANVAC RD‑1300R 9310 高真空电阻加热蒸镀机

项目 参数
产品名称 电阻加热式高真空蒸镀装置
型号 RD‑1300R,Code:9310
极限到达真空 ≤1.0×10⁻⁴Pa(常温空载)
抽气时间 至 1.3×10⁻³Pa≤10min(常温空载)
蒸发源 2 组可切换电阻加热蒸发源,支持多层膜不破坏真空切换
膜厚监测 搭载晶振式膜厚计,实时监控镀膜厚度
真空系统 涡轮分子泵机组,洁净排气
操作模式 自动排气、自动破真空,程序自动化运行
腔体 小型真空腔体,桌面式机型,占地小
适用蒸发材料 贵金属、部分氧化物、有机薄膜材料
泄漏率 ≤1.0×10⁻⁷Pa·m³/s


产品特点

  • 双蒸发源可切换,真空腔内直接切换蒸发源,不用破真空,可连续制备多层薄膜,提升实验效率。
  • 标配晶振膜厚仪,镀膜厚度实时监测,薄膜厚度可控,实验重复性好。
  • 涡轮分子泵排气系统,获得洁净高真空,减少油污染,保障薄膜纯度。
  • 全自动真空流程:抽真空、破真空一键自动运行,操作简单,新手易上手。
  • 桌面小型化机身,实验室放置,无需庞大占地,适合科研小样制备。
  • 日本原厂整机,腔体密封性能稳定,泄漏率低,长期连续实验可靠。



对比优势

  • 多层膜实验效率高:双蒸发源真空切换,无需复抽真空,对比单蒸发源机型,多层样品实验耗时大幅缩短。
  • 出厂标配晶振膜厚计,同档位很多机型膜厚计为选配件,本机标配,降低整体采购成本。
  • 全自动真空控制,减少人为误操作,真空工艺可复现,适合学生、科研人员做对比实验。
  • 分子泵洁净真空,无油扩散泵带来的油蒸汽污染,薄膜成品质量更高。
  • 整机结构紧凑,占地面积小,适配高校实验室狭小空间;后期维护配件供应链成熟。



运用场景

  • 高校、科研院所新材料研发:贵金属薄膜、金属电极薄膜制备。
  • 钙钛矿、有机光电器件实验室试样镀膜实验。
  • 光学薄膜、小型样品多层膜工艺开发。
  • 真空技术教学实验、科研教学演示。
  • 牙科材料、小型元器件表面薄膜试制。