SANVAC RD‑1300R B276 电阻蒸发镀膜机

产品特点

• 电阻蒸发工艺稳定：多蒸发源布局，可实现多层膜连续蒸镀，功率可调，成膜均匀性好。
• 标配晶振膜厚计：实时监测膜层厚度，膜层精度可控，减少人工调试误差。
• 腔体大容积：Φ1300 大腔体，可批量加工工件，兼顾小批量试制与中等量产。
• 整机模块化结构：管路线路规整，腔体门启闭顺畅，配件拆装维护简单，检修便捷。
• 控制友好：人机交互操作界面，简单培训即可上手，支持工艺配方存储调用。
• 元器件原厂配套：真空系统、蒸发电源可靠性高，整机故障率低，使用寿命长。
• 拓展性强：可选配离子清洗、基片加温、有机蒸发单元等模块，适配多种工艺。

对比优势

• 性价比优势：进口设备品质，相比同规格欧美蒸镀设备，采购成本更低，交付周期更可控。
• 工艺适配广：金属、贵金属、部分氧化物、有机薄膜均可加工，兼顾科研研发与中小量产，不局限单一材料。
• 批量能力更强：1300mm 大腔体，工件装载量高于 1000 及以下腔体机型，提升单批次产能。
• 运维成本低：部件通用性高，易采购；保养流程简单，降低后期使用成本。
• 工艺可移植：成熟 RD 系列平台，大量成熟蒸镀工艺参数可直接复用，缩短客户打样调试周期。

运用场景