SANVAC RD‑1350 高真空电阻加热蒸镀装置

产品特点

• 无油洁净排气：干泵 + 分子泵组合，无油扩散泵，避免油蒸汽污染腔体，满足洁净室工艺环境。
• 全自动工艺流程：抽气、镀膜、泄压破真空全流程自动运行，新手简单培训即可操作，减少人为操作误差。
• 原位多层膜制备：多组可切换电阻蒸发源，不破坏真空环境下实现多层薄膜连续蒸镀，不用反复开腔。
• 高精度膜厚管控：晶体振荡膜厚计实时监测沉积速率与膜层厚度，膜厚重复性好。
• 完整**联锁保护：漏水、水压、气压异常监控，窒息防护，故障报警停机，设备运行**性高。
• 基板优化设计：基板旋转 + 基板加热，提升大面积样品膜层均匀性。

对比优势

• 洁净室原生设计：整机专为洁净室环境开发，无油排气，比传统扩散泵机型污染风险更低，适配半导体、材料研发洁净工艺。
• 操作门槛低：全自动逻辑，兼顾自动 / 手动双模式，科研人员、实验员上手快，减少工艺失误。
• 多层膜效率更高：真空内切换蒸发源，不用破真空换源，节省反复抽真空时间，提升实验与小批量打样效率。
• **防护完善：水、气、压力全套监测联锁，相比部分简化版进口设备，降低误操作损坏设备、样品的风险。
• 体积紧凑，占用实验室面积小，兼顾高校科研、企业研发打样，不适合大规模量产。

运用场景

• 高校科研院所：新材料研发、真空镀膜教学实验、金属薄膜样品制备。
• 光电与传感器研发：钙钛矿电池电极蒸镀、各类金属电极薄膜制备。
• 牙科、装饰薄膜小试样打样：牙科部件镀膜、贵金属薄膜试制。
• 半导体实验室研发：小尺寸样品金属化镀膜，洁净室研发实验。
• 有机‑金属复合薄膜研发：兼容部分有机材料热蒸镀实验。