SANVAC RD‑1400 高真空电阻加热蒸镀装置

产品特点

1. Sb 锑材料专属优化：专门针对锑膜蒸镀开发，内置 H₂BBD 机构，提升锑薄膜成膜质量与稳定性，减少工艺缺陷。
2. 大抽速真空机组：600L/s 机械泵 + 1200L/s 扩散泵，搭配标准液氮冷阱，快速获得高真空，抑制水汽、油气污染膜层，缩短作业周期。
3. 双模式操控：排气流程支持全自动 / 手动切换，兼顾新手简单操作与**研发人员手动调试工艺，降低操作门槛。
4. 腔体密封可靠，整机紧凑，日本原厂装配，运行稳定，适合实验室、研究所连续试样试制。
5. 工艺可复现性好，膜层纯度高，适合新材料研发试样。

对比优势

1. 锑 Sb 蒸镀专项优化：市面多数通用电阻蒸镀机无 H₂BBD 配套机构，RD‑1400 针对锑镀膜做硬件适配，锑膜工艺调试难度更低，成品良率优于通用机型。
2. 真空配置规格高：同尺寸机型多数配中小抽速扩散泵，RD‑1400 配置 1200L/s 扩散泵，抽气速度快，液氮冷阱为出厂标配，不用额外加价选配。
3. 操作容错性高：自动 / 手动排气可自由切换，既可以一键全自动跑标准流程，也可手动微调真空工艺，兼顾量产试样与工艺开发。
4. 整机集成度高，无需复杂改造即可上机使用；原厂配件供应链成熟，维护便捷。

运用场景

1. 科研院所、高校实验室：锑基薄膜试样研发、新材料基础研究。
2. 特种薄膜试样制备：锑 Sb 功能薄膜、部分低熔点金属薄膜、有机薄膜实验。
3. 器件前期研发：光电、传感器件前期试样打样、工艺摸索。
4. 真空镀膜教学实验，真空蒸镀工艺验证。