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日本SANVAC RD‑1400 9999 电阻蒸发真空镀膜机
产品型号:
产品简介:

详细介绍

SANVAC RD‑1400 9999 电阻蒸发真空镀膜机

项目 参数
型号 SANVAC RD‑1400,code:9999
设备类型 电阻加热式真空蒸镀沉积设备
极限真空 5×10⁻⁴ Pa(无负载,充分除气)
腔体规格 腔室有效内径 φ1400mm
蒸发源 电阻热蒸发坩埚源,支持多源切换
膜厚控制 标配晶体振荡膜厚监测仪,实时膜厚闭环控制
基板系统 基板架可旋转,支持基板加热(选配)
真空机组 机械泵 + 扩散泵高真空机组
电源 AC380V 三相,整机功率约 28‑35kW
兼容蒸镀材料 贵金属、金属薄膜、有机薄膜、氧化物薄层等
外形 落地一体式,腔体门前开式



产品特点


  1. 电阻热蒸发架构,专为实验室研发、小批量试样镀膜,工艺调试简单,支持多层膜连续蒸镀制备。
  2. 搭载晶体振荡膜厚计,薄膜厚度实时监控,成膜均匀性好,薄膜附着力高,减少氧化杂质混入。
  3. 腔体门启闭顺畅,管路线路规整,密封配件耐用,检修、坩埚更换、耗材拆装便捷。
  4. 整机元器件原厂配套,运行故障率低;操作逻辑简单,简单培训即可上手,保养流程简易。
  5. 可扩展选配基板加热、前置过渡腔,不破真空更换基板,提升连续实验效率。



对比优势


  1. 对比同级别国产蒸镀设备:真空稳定性、膜厚重复精度更高,腔体密封长效可靠,适合对薄膜一致性有高要求的科研与小试。
  2. 对比同品牌 ED 电子束系列:RD‑1400 电阻蒸发采购成本更低,运维成本低,坩埚耗材便宜,更适合金属、有机膜、贵金属试样,不需要处理超高熔点材料时性价比突出。
  3. 腔体 φ1400 大有效腔室,同类型电阻蒸发机型中,可同时装载更多试样基板,兼顾单批次试样数量。
  4. 日本 SANVAC 整机成套,真空机组、膜厚控制系统一体化匹配,无需用户自行搭配组装,降低调试风险。



运用场景


  1. 高校、科研院所新材料研发,真空镀膜教学实验;
  2. 钙钛矿电池电极薄膜、有机光电器件有机薄膜制备;
  3. 贵金属薄膜、光学试样薄层镀膜;
  4. 牙科材料、精密电子零部件试样蒸镀;
  5. 光电材料、新材料实验室小批量试样试制。