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日本SANVAC RD‑1500 电机直连罗茨真空泵
产品型号:
产品简介:

高真空镀膜装置RD-1500是一款用于金属镀膜的镀膜装置。由于配备了6对电阻加热电极,因此可进行多层镀膜及同时镀膜。排气系统自动运行。标配石英振荡式膜厚计。

详细介绍

SANVAC RD‑1500 电机直连罗茨真空泵

参数项 RD‑1500 规格
吸气口法兰 150A JIS10KFF
额定抽气速率 50Hz:1350m³/h;60Hz:1630m³/h
容许压力差(标准电机) 7.0kPa
极限真空度(单级滑阀前级) 7×10⁻² Pa
极限真空度(双级滑阀前级) 1.3×10⁻² Pa
适配前级泵抽速 220‑450 m³/h
转速 50Hz:1500r/min;60Hz:1800r/min
标准电机功率 5.5kW
注油量 4.0L
冷却水量 0.4m³/h
整机重量(带电机) 530kg;无电机 460kg


产品特点

  1. 电机直连一体化结构,整机紧凑,占用空间小,便于多台串联搭建真空机组,安装调试简单。
  2. 主轴强度高,支持低真空工况直接启动,可满负荷长时间连续运行;可凝性气体不易在泵内部凝结,适配含蒸汽工况。
  3. 电机可按需选配,匹配不同负载,减少无用功耗,综合运行成本更低,节能效果突出。
  4. 兼容性强,可搭配滑阀泵、液环泵等多种前级泵,灵活组成不同配置真空系统。
  5. 泵体稳定性高,振动小,零部件耐用,故障率低,维护工作量少。


对比优势

  1. 低真空启动能力强:很多同规格罗茨泵必须在较高真空下启动;RD‑1500 主轴强化设计,低真空可直接启动,系统启停流程更简单,降低前级泵选型压力。
  2. 连续耐可凝气体:泵腔结构抑制水汽凝结,适合镀膜、化工这类会产生水蒸气的工艺,减少泵油乳化、损坏风险。
  3. 整机体积重量优化,直连式比联轴器分体式结构零部件更少,减少传动故障点。
  4. 工况适配灵活,电机功率可根据实际压差选型,避免大马拉小车,长期使用能耗更低。
  5. 日系原厂加工精度高,间隙控制稳定,长期使用抽速衰减小,适合半导体、镀膜对真空稳定性严苛的工艺。


运用场景

  1. 半导体与 FPD 面板行业:工艺腔体抽真空、真空处理、腔体预抽系统。
  2. 真空镀膜行业:PVD/CVD 镀膜设备真空机组,光学镀膜、装饰镀膜系统增压。
  3. 冶金热处理:真空退火、真空淬火炉大流量抽气。
  4. 化工、制药行业:真空蒸馏、真空干燥、脱气工艺。
  5. 科研实验室:大型真空试验舱、模拟装置;钢铁、食品加工等工业真空系统。