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日本SANVAC RD‑1600 电阻加热真空蒸镀设备
产品型号:
产品简介:

高真空镀膜装置RD-1600是一款专用于有机材料的镀膜装置,配备了4个有机镀膜室。此外,还可同时对2个基板进行镀膜。由于配备了L/L室,因此可在保持成膜室处于高真空状态的同时更换基板。基板加热采用卤素灯,*高可升温至300℃。排气系统自动运行。成膜控制通过有机蒸发室与晶体振荡式膜厚计的联动,自动控制膜厚增长速率。

详细介绍

SANVAC RD‑1600 电阻加热真空蒸镀设备

项目 参数
产品类型 电阻加热式真空蒸镀机(RD 系列)
腔体规格 有效腔体 Φ1600mm,一体化不锈钢腔体
蒸发方式 多组电阻加热蒸发源(钨舟 / 钨丝篮),支持单 / 双源共蒸
极限真空 优于 8×10⁻⁴Pa,配置机械泵 + 扩散泵真空机组
抽气时间 大气至高真空≤25‑30min
基板系统 基板旋转,转速可调;基板加热功能,*高约 300℃
膜厚控制 石英晶振膜厚监测,速率闭环控制
控制系统 PLC + 触摸屏,支持程序自动镀膜、自动排气泄压、工艺存储调用
电源 三相 380V;整机功率约 25‑32kW
外形 一体化柜体结构,占地面积适中,适配实验室、中试车间
可选配置 离子清洗、前置换样腔、多蒸发源扩展、水冷基板


产品特点

  1. 电阻蒸发稳定输出,多蒸发源布局,支持金属、部分有机材料多层共蒸,功率调节精度高,膜层均匀性好。
  2. 全自动流程控制,镀膜、抽真空、泄压全流程预设执行,减少人为操作误差,工艺可保存复现,实验重复性高。
  3. 腔体密封可靠,真空机组匹配优化,抽速快、真空稳定性强,降低杂质混入,薄膜纯度、附着力优异。
  4. 集成基板旋转 + 基板加热,适配不同基底材料,减少膜层应力,提升成膜品质。
  5. 人机交互简单,培训门槛低;核心元器件原厂配套,故障率低,日常维护简易,综合运维成本低。
  6. 可拓展性强,支持选配离子清洗、预腔换样等模块,满足研发迭代需求。


对比优势

  1. 定位偏向研发‑小批量中试,相比大产能工业机型,整机占地更小、能耗更低,设备投入成本更友好,适合院校、新材料企业样品试制,不盲目追求超大产能。
  2. RD 系列主打电阻蒸发,针对低‑中熔点金属、有机膜工艺做优化,相比电子束机型,设备结构简单、维护难度、备件成本更低。
  3. 工艺复现能力强,整套参数可存储调用,对科研实验、新材料打样非常友好,减少调试时间。
  4. 整机一体化集成,不需要复杂现场管路改造,就位后调试周期短,快速投产使用。
  5. 对比国产同规格设备:真空系统稳定性、膜厚控制一致性更好;对比欧美进口机型,价格与维保交期更有优势。


运用场景

  1. 科研院校研发:新材料实验、真空技术教学;钙钛矿电池电极、有机薄膜、贵金属薄膜样品制备。
  2. 光电行业:光学元件金属膜、传感器电极膜、光电器件试样开发。
  3. 牙科、医疗器械:牙科配件镀膜、小型医疗零部件功能性薄膜试制。
  4. 材料实验室:金属、合金、部分有机材料单层 / 多层薄膜的 PVD 蒸镀打样与小批量试生产。