SANVAC SP‑15000D 干式螺杆真空泵

产品特点

1. 完全无油干式结构，泵腔无润滑油，无油蒸汽返流，获得洁净真空，避免工艺污染。
2. 螺杆转子特殊涂层，耐粉尘、可抽少量可凝性气体，适配半导体、化工复杂工况。
3. 大抽速，从大气压到中真空区间抽速曲线平坦，大腔体系统抽气效率高。
4. 内置气镇功能，可处理水汽、轻腐蚀性气体。
5. 智能监控模块，支持温度、压力、过载保护，可对接 DCS 系统远程信号输出。
6. 维护周期长，无需频繁更换泵油，仅定期保养轴承与密封件，降低运维成本。
7. 水冷散热，连续 24 小时不间断工业运行，高温环境工况稳定性好。

对比优势

1. 对比油润滑螺杆泵：无油污染，不产生油雾废气，适配洁净工艺，无换油耗材，车间环境更友好。
2. 对比同规格国产干式螺杆泵：转子动平衡精度高，振动更低；涂层耐化学腐蚀更强，可适应轻微腐蚀性工艺气体；整机 MTBF 平均无故障时间更长。
3. 对比罗茨干泵机组：单机大抽速，不需要前置罗茨泵，系统管路简化，占地更小，故障点更少。
4. 采购 & 运维：整机一体化，配件标准化；相比欧美进口品牌，交货周期短，备件成本更低，现场技术支持响应快。

运用场景

• 半导体行业：工艺腔体粗抽、PVD/CVD 镀膜设备前级真空、刻蚀设备前级泵。
• 化工新材料：溶剂脱泡、蒸馏、负压反应釜，抽除水汽与轻度腐蚀性气体。
• 锂电行业：锂电池注液、干燥、化成工序大腔体抽真空。
• 光伏行业：硅片镀膜、真空烧结炉前级真空获取。
• 科研与大型真空设备：大型真空腔体、真空炉、真空钎焊炉前级抽气。