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日本SANVAC CI‑4500 CVI气相渗透沉积装置
产品型号:
产品简介:

产品定位:实验室级 CVI 装置,用于碳纤维 SiC/C 膜气相浸渍,属于高温真空化学气相渗透设备。

详细介绍

SANVAC CI‑4500 CVI气相渗透沉积装置

项目 参数
型号 CI‑4500
设备类型 CVI 化学气相渗透装置
可制备薄膜 SiC 膜、C(碳)膜
炉腔尺寸 φ30mm×1000mm
炉体材质 SUS316 不锈钢
处理基材 φ8mm 纤维,*多 6000 根 / 束(丝状碳纤维)
*高加热温度 1500℃,工作区间 1200‑1500℃
极限真空度 10⁻²Pa 级别(常温无负载、脱气后)
抽气性能 抽到 10⁻¹Pa 级别≤3min
压力控制 全自动压力闭环控制
适用工艺气体 SiCl₄、CH₄、N₂、H₂
工艺原理 CVI(化学气相渗透),结合 CVD 实现纤维内部浸渍成膜


产品特点

  1. 长腔体设计:1000mm 长炉膛,可处理长束丝状碳纤维试样,适合长尺寸纤维浸渍实验。
  2. 宽高温区间:1200‑1500℃高温加热,满足 SiC 陶瓷基复合材料 CVI 致密化工艺条件。
  3. 全自动真空压力控制,真空闭环调控,工艺重复性好,减少人为操作误差。
  4. SUS316 耐蚀炉腔,耐受腐蚀性工艺气体 SiCl₄,抗腐蚀、抗颗粒污染。
  5. 抽气速度快,3 分钟内达到 10⁻¹Pa,快速完成脱气,缩短实验周期。
  6. 专为碳纤维束试样开发,适配纤维束基材,用于陶瓷基复合材料实验室研发。


对比优势

  1. 长试样处理能力:同级别小型 CVI 设备大多炉膛短,CI‑4500 可处理 1 米长度纤维束,长纤维试样无需裁剪。
  2. 气体兼容性强,原生支持 SiCl₄等腐蚀性前驱气体,不用额外改造炉体。
  3. 真空‑压力全自动控制,不用人工手动调节阀门,工艺参数可复现,适合研发做对比试验。
  4. 日本 SANVAC 真空系统配套成熟,整机真空单元一体化,故障率低,稳定性优于组装式 CVI 实验炉。
  5. 实验室机型,占地相对紧凑,适合高校、研究院材料实验室,不需要超大厂房空间。


运用场景

  1. 高校 / 科研院所:碳纤维增强 SiC 陶瓷基复合材料 CVI 工艺研发;
  2. 新材料实验室:碳纤维束 C、SiC 膜气相浸渍实验,材料试样制备;
  3. 航空航天新材料预研:连续纤维增强陶瓷基复合材料小样试制;
  4. 工艺开发:CVI 工艺参数摸索、气体配比、温度‑压力正交实验。