SANVAC CI‑7000 CVI化学气相渗透装置

产品特点

1. 高频感应快速加热，*高可达 1500℃，温度区间适配 CVI 碳化渗透工艺，升温效率高。
2. 坩埚可拆装，可自由更换不同尺寸、形状石墨坩埚，适配多种实验试样，灵活性强。
3. 全自动真空压力闭环控制，工艺过程压力稳定，保证 CVI 成膜一致性。
4. 抽真空速度快，3 分钟内达到 10⁻¹Pa，缩短实验待机时间，适合频繁打样实验。
5. 基板无硬性限制，异形试样、小批量试样均可开展 CVI 渗透实验。
6. 整机紧凑型实验机型，专为实验室研发打样，非量产大型设备。

对比优势

1. 真空‑压力自动联动控制，不需要人工手动调节阀门，减少人为操作误差，工艺可复现性更好。
2. 拆装式石墨坩埚，不用拆解整个炉体，试样更换效率高于很多一体式腔体 CVI 设备。
3. 抽气性能**，快速达到工艺真空，缩短实验周期，适合多批次小试样研发。
4. 温度、真空、供气整套集成，开箱即可开展 SiC/C 气相渗透实验，不用额外拼凑真空、加热子系统。
5. 日本 SANVAC 原厂整机，真空组件、高频电源匹配度高，故障率低。

运用场景

1. 高校、科研院所新材料实验室：CVI 化学气相渗透工艺研发，SiC/C 复合材料试样制备。
2. 陶瓷基复合材料研发：碳‑碳化硅复合涂层试样打样。
3. 航空航天新材料预研：小尺寸耐高温复合材料样品开发。
4. 材料实验室高温真空气相沉积、渗透相关工艺探索。