SANVAC E288 立式真空热处理炉

产品特点

1. 立式上下开盖腔体，工件装卸方便，腔体内壁电解抛光，放气率低，保障高真空环境。
2. 钼加热器 + 多层隔热反射屏，热损失小，温场均匀，1150℃温区偏差仅 ±10℃，适合精密热处理。
3. 完整高真空排气系统，极限真空可达 10⁻⁴Pa，泄漏率极低，减少工件氧化、脱碳。
4. PID 程序温度控制器，支持多段升温‑保温‑降温工艺曲线，触摸屏人机交互，全自动流程运行，也支持手动操作。
5. 模块化可改造：泵组可升级干泵、涡轮分子泵、低温泵；可增配冷却循环机、洁净间配套等选配组件。
6. 整机日本原厂制造，真空检测采用氦检漏，设备稳定性高，适合长期连续工艺运行。

对比优势

1. 大有效温区：同温度等级设备中 370mm 方形有效加热空间更大，可处理批量工件。
2. 优异温场均匀性，钼加热 + 多层屏蔽，相比普通石墨加热炉，高温下挥发物少，不易污染工件，特别适合有色金属、精密合金。
3. 高真空密封水准，氦检漏 10⁻¹⁰Pa・m³/s 级别，优于市面多数同规格国产真空炉，抑制高温氧化。
4. 灵活可升级真空系统，可从油扩散泵直接更换无油真空机组，适配半导体、洁净工艺需求，设备生命周期长。
5. 立式开盖结构，大件工件取放优于侧开门卧式炉，减少炉内隔热件磕碰损坏。

运用场景

1. 金属材料真空退火、去应力、真空钎焊；
2. 粉末冶金、金属零部件真空烧结；
3. 特种合金、钼 / 钨等难熔金属高温真空热处理；
4. 半导体零部件、精密机械零件真空高温除气处理；
5. 科研院所材料研发、新材料工艺实验。