SANVAC SVM‑400R 干式涡旋真空泵

产品特点

1. 完全无油干式结构，泵腔无润滑油，零返油污染，输出洁净真空，杜绝油雾污染工件与腔体，适配高洁净工艺。
2. 涡旋盘非接触压缩，振动小、运行噪音低，整机运行平稳，适合设备集成配套。
3. 内置过热、过载保护，可连续 24 小时长时间不间断运行，工业工况稳定性强。
4. 无复杂油路系统，无需定期换油，日常维护项目少，降低运维成本。
5. 紧凑整机布局，立式结构，节省安装空间，方便嵌入真空系统、镀膜设备机组。
6. 转子表面特殊涂层，耐受部分弱腐蚀性工艺气体，可配套前置过滤器使用。

对比优势

1. 抽速‑功率比更优：同等 400L/min 级别，整机功耗更低，长期运行节电，适合长时间连续生产。
2. 低振动低噪声表现突出，相比同规格爪式干泵，脉冲小，对精密镀膜、检测设备干扰更小。
3. 日系原厂精密涡旋盘加工，间隙控制精度高，极限真空表现优于很多国产同规格涡旋泵。
4. 配件通用性强，国内代理可提供维修包，售后维保周期短。
5. 对水汽容忍度优于普通隔膜泵，可适配带少量水汽的工艺，搭配气镇可提升水汽处理能力。

运用场景

1. 真空镀膜行业：PVD、CVD 镀膜设备前级泵，光学镀膜、装饰镀膜、工具涂层设备粗抽真空。
2. 半导体 / 光电：晶圆检测、LED、面板制程、真空腔体粗抽，手套箱真空系统。
3. 科研仪器：电子显微镜、质谱设备、真空实验腔体前级真空获取。
4. 热处理与真空冶金：小型真空烧结、钎焊炉前级抽气。
5. 锂电新能源：真空烘烤、物料脱气，洁净负压工艺。
6. 工业检漏：大型腔体氦检设备粗抽泵。