SANVAC 高电压高真空老化装置

产品特点

1. 双独立真空排气：被测 X 射线管内部、外部真空槽腔体两套独立抽真空系统，两者均可达到 10⁻⁶Pa 级别超高真空，有效抑制沿面放电打火问题。
2. 高压老练 + 高温烘烤一体化：*高 200kV 高压施加 + *高 350℃烘烤除气同步工艺，完成器件除气、高压老练、缺陷激发，提升场发射 X 射线管成品良率。
3. 可视化观测窗口：老化过程可直接目视观察管内放电、发光状态，便于工艺调试与异常判定。
4. 全自动工艺时序控制：抽真空、升温、高压加载、保压老练、冷却回充全流程自动运行，可存储多套老化工艺配方。
5. 完备高压**防护：高压过流、打火保护联锁，真空不足禁止高压输出，规避高压击穿风险。
6. 非标定制能力强：腔体容积、高压档位、烘烤温区、样品工装可根据 X 射线管外形尺寸定制开发。

对比优势

1. 工艺针对性强：专门针对场发射 FE‑X 射线管开发，区别通用真空老化设备，解决场发射器件极易出现的沿面放电难题，国内通用设备较少实现内外双独立真空结构。
2. 高真空 + 高压兼容稳定性：200kV 高压环境下维持 10⁻⁶Pa 超高真空，高压漂移小，老练过程电压稳定，不会频繁跳火中断工艺。
3. 烘烤除气能力优异：*高 350℃高温烘烤，充分去除器件内部吸附气体，降低后期使用中放气、打火失效概率。
4. 成熟量产工艺沉淀：SANVAC 长期服务日本 X 射线管厂商，工艺库适配多款场发射 X 射线管，直接对接量产工艺，无需大量二次调试。
5. **联锁完善：真空、温度、高压、门控多重联锁，适合工厂批量生产环境，不是单纯实验室样机。

运用场景

1. 场发射 X 射线管制造：FE 型 X 射线管出厂前高压老练、除气老化，消除潜在绝缘缺陷，提升管寿命与工作稳定性。
2. 特种电子管、真空电子器件研发与量产：各类高压真空电子管、阴极器件的高压老练、除气处理。
3. 科研院所实验室：真空高压电子器件、场发射器件可靠性试验、失效复现试验。
4. 医疗 / 工业 X 射线源零部件制程：医用 X 射线管、工业无损检测 X 射线源的制程老练工序。
5. 真空高压绝缘研究：高真空环境下高压绝缘、沿面放电相关试验。