瑞士VAT 26.5 高真空内联阀

产品介绍

VAT 26.5 为直通式高真空内联阀，采用直通路阀体结构，专为真空管路通断控制开发，适配高真空工况。具备气动驱动模式，阀体流阻小，密封性能稳定，可承受频繁开关动作。阀体结构紧凑，安装维护便捷，广泛配套半导体、镀膜、科研真空设备，保障真空管路可靠隔离与导通。

产品参数

• 阀体类型：内联直通真空阀
• 适用真空范围：1×10⁻⁷ ~ 1000 mbar
• 驱动方式：气动驱动
• 法兰接口：CF/KF 多种法兰可选
• 工作温度：‑20℃ ~ +120℃
• 阀体材质：不锈钢
• 密封材质：氟橡胶 / 金属密封可选
• 开关循环寿命：数十万次级别
• 流向：双向流通

产品特点

• 直通内联结构，流导大，管路气流阻力低
• 不锈钢阀体，抗腐蚀，出气率低，适配高真空环境
• 气动驱动，开关响应快，支持远程自动化控制
• 可选金属密封版本，满足严苛高真空工况
• 结构模块化，拆装维护简单，适配管路直线安装

对比优势

• 对比普通角阀：直通流道流导更高，管路压降更小，适合长管路真空系统
• 国产同类阀件：密封稳定性、循环使用寿命更优，漏率指标更低
• 同级别进口阀：体积紧凑，安装适配性强，配件通用性好，售后备件成熟

运用场景

• 半导体工艺设备真空管路通断隔离
• 光学镀膜、PVD/CVD 镀膜设备真空回路
• 科研实验室高真空实验平台
• 真空热处理、真空烧结配套管路
• 工业真空系统、检漏设备管路控制