瑞士 VAT 29.0 带软抽高真空角阀

产品介绍

VAT 29.0 为集成软抽功能的高真空角阀，专为真空腔体平缓泄压、柔和抽气工况设计，规避直接抽气引发的气流冲击、扬尘问题。支持气动驱动，密封性能稳定，阀本体抗腐蚀，适配半导体、镀膜等工艺设备，可实现主通路开关与软抽小流量通路一体化，减少外接管路配件，提升真空系统运行稳定性。

产品参数

• 阀体形式：90° 角式真空阀，集成独立软抽旁路
• 驱动方式：气动驱动
• 工作真空范围：1×10⁻⁷Pa ~ 常压
• 法兰规格：KF / CF 多规格可选
• 密封材质：金属密封 / 氟橡胶密封可选
• 软抽通路：内置小流量软抽通道
• 工作温度：‑20℃～+120℃
• 漏率：金属密封≤1×10⁻⁹Pa・m³/s

产品特点

• 一体集成软抽旁路，无需额外外接软抽管路组件，简化系统布局
• 软抽缓慢抽气，抑制腔体扬尘、样品吹飞，保护腔内工件
• 气动驱动，开关响应稳定，可适配 PLC 自动化控制
• 高等级密封，低漏率，满足高真空工况长期连续运行
• 阀体耐工艺气体腐蚀，维护拆装便捷

对比优势

• 对比普通角阀：自带软抽功能，省去额外加装软抽阀件，降低整体采购与装配成本
• 软抽流量可控，避免大流量直冲腔体，减少微粒污染，提升良率
• VAT 原厂阀体加工精度高，长期循环开关后密封衰减慢，维护周期更长
• 一体化结构，管路节点变少，降低系统总漏点风险

运用场景

• 半导体镀膜、刻蚀设备腔体进气泄压
• 光学镀膜机、PVD 真空设备腔体启闭抽气
• 科研实验真空腔体、分析仪器真空系统
• 锂电池、材料真空处理设备
• 需要平缓抽气，防止扬尘颗粒物扬起的高真空工艺产线