瑞士 VAT 29.1 带软抽功能高真空内联阀

产品介绍

VAT 29.1 为带软抽功能的直通式高真空内联阀，集成缓慢充气软抽结构，可避免腔体压力冲击，保护真空腔内工件与镀膜基材。采用金属密封结构，泄漏率低，适配自动化真空工艺管路，支持气动驱动，广泛用于半导体、镀膜设备真空管路通断，兼顾快速开关与柔和预抽需求。

产品参数

• 阀类型：直通内联真空阀，集成软抽预抽功能
• 密封形式：金属密封
• 驱动方式：气动驱动
• 工作真空范围：高真空
• 泄漏率：≤1×10⁻⁷ Pa・m³/s
• 连接形式：法兰连接
• 阀体材质：不锈钢
• 工作温度：‑20℃~+150℃
• 控制：可配位置反馈信号

产品特点

• 自带软抽预抽通路，实现腔体缓慢升压 / 抽气，抑制气流冲击
• 全金属密封，耐烘烤，出气率低，满足高真空工况
• 直通内联流道，流阻小，管路布局简洁
• 气动执行机构，开关响应稳定，带阀位反馈便于设备 PLC 联动
• 阀体抗腐蚀，适配多种工艺气体环境

对比优势

1. 相比普通真空内联阀，内置软抽模块，无需额外外接预抽阀组，减少管路配件，降低整机成本
2. 金属密封优于橡胶密封，可高温烘烤，真空上限更高，使用寿命更长
3. 直通流道通导能力**，不会造成管路明显节流
4. 阀位信号反馈，适配自动化产线，减少人工干预，降低工艺**率

运用场景

• 半导体设备真空管路隔离、腔体预抽
• 光学镀膜、PVD/CVD 真空设备
• 科研实验真空系统、分析仪器
• 真空热处理、真空溅射设备管路
• 锂电池、新材料真空工艺设备