瑞士 VAT 29.2 带软抽预抽高真空角阀

产品介绍

瑞士 VAT 29.2 为集成软抽功能的高真空角阀，专为真空腔体平稳泄压、缓冲抽气工况设计，可避免压力冲击对腔体与工件造成损伤。采用金属密封结构，响应速度快，泄漏率低，支持多种驱动方式，可靠性高，广泛适配半导体、镀膜、科研真空设备，兼顾隔离切断与柔和预抽双重作用。

产品参数

• 阀体类型：高真空角阀，集成软抽预抽通道
• 公称通径：DN16‑DN100
• 真空等级：高真空，极限压力 1×10⁻⁷ Pa
• 密封形式：金属密封
• 驱动方式：气动，可选手动、电动
• 泄漏率：阀体漏率＜1×10⁻⁹ Pa・m³/s
• 工作温度：‑20℃~+150℃
• 法兰标准：ISO‑KF、ISO‑F 标准法兰
• 软抽通道：内置独立预抽软抽回路

产品特点

• 集成内置软抽预抽功能，实现腔体缓慢升压 / 抽气，杜绝气流冲击
• 金属密封结构，耐烘烤，出气量低，适配洁净真空环境
• 角式流道设计，流阻小，通流能力**
• 阀位反馈信号输出，可接入设备 PLC 实现自动化控制
• 结构紧凑，安装维护便捷，阀体抗腐蚀，使用寿命长

对比优势

1. 自带软抽回路，无需额外外接旁路管路，简化整机管路布局，降低成本
2. 对比普通角阀，消除瞬间压力冲击，保护精密工件与真空计，减少设备故障率
3. VAT 原厂密封工艺，漏率优于市面通用国产角阀，长期工况稳定性更强
4. 支持烘烤，适配半导体严苛洁净要求，兼容性强
5. 阀动作平稳，启闭冲击小，适合频繁循环开关工况

运用场景

• 半导体工艺腔体、薄膜镀膜设备
• 科研实验室真空系统、电子束设备
• 真空热处理、真空烧结腔体
• 分析仪器、质谱设备真空管路
• 锂电池、材料研发真空装置