瑞士 VAT 47.1 极高真空射频全金属闸阀

产品介绍

VAT 47.1 为极高真空工况专用全金属射频闸阀，采用金属密封结构，适配半导体射频工艺腔体，耐受等离子体、烘烤高温环境。具备优异的漏率控制与射频阻抗稳定性，可实现腔体通断隔离，驱动可选气动，广泛用于严苛真空工艺，是半导体、科研真空系统中高可靠隔断核心部件。

产品参数

• 产品型号：VAT 47.1
• 阀体材质：全金属不锈钢
• 密封形式：金属刀口密封
• 压力范围：极高真空级别
• 烘烤温度：*高 250℃
• 驱动方式：气动驱动
• 适用射频工况：兼容高频射频环境
• 泄漏率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
• 连接法兰：CF 标准法兰接口
• 工作介质：干燥气体、真空环境

产品特点

• 全金属密封设计，无橡胶件，耐高温烘烤，适配等离子体工艺
• 优化射频阻抗结构，射频环境下性能稳定，降低射频干扰
• 气动驱动，开关动作平稳，重复密封性能好
• CF 法兰标准接口，便于集成超高真空腔体
• 抗腐蚀，耐等离子体侵蚀，可长期连续工况运行

对比优势

1. 对比橡胶密封闸阀：可高温烘烤，无有机物析出，满足极高真空洁净要求
2. 普通金属闸阀：专门做射频适配，射频压降小，适合半导体等离子腔体
3. 开关寿命长，维护周期长，减少产线停机维护频次
4. 漏率指标优异，隔断隔离效果强，腔体之间互不干扰

运用场景

• 半导体刻蚀、薄膜沉积射频工艺设备
• 科研极高真空实验腔体隔断
• 等离子体处理设备真空管路
• 离子束、电子束设备真空系统
• 航天元器件真空测试装置