瑞士 VAT 47.2 极高真空射频全金属闸阀

产品介绍

VAT 47.2 为全金属密封极高真空射频闸阀，专为半导体、等离子工艺严苛工况开发，采用金属刀口密封结构，耐受射频环境，可承受高温烘烤，实现极高真空隔离。驱动方式可选气动 / 电动，具备优异的抗等离子腐蚀能力，泄漏率极低，适配各类镀膜、刻蚀设备真空管路，保障高洁净无油真空环境稳定运行。

产品参数

• 阀体材质：不锈钢，密封形式：全金属刀口密封
• 真空等级：极高真空，漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
• 烘烤温度：*高 250℃
• 驱动形式：气动执行器 / 电动执行器可选
• 法兰规格：CF 标准法兰，多口径可选
• 射频适配：兼容工艺射频工况，抗等离子侵蚀
• 工作温度：‑20℃~+250℃
• 阀门位置反馈：开关位置信号输出

产品特点

• 全金属刀口密封，无橡胶件，耐高温烘烤，无有机物析出
• 专门优化射频工况，抗等离子轰击腐蚀，适合等离子工艺腔体
• 极低本底出气，满足极高真空洁净工艺要求
• 紧凑型闸阀结构，流导大，管路压降小
• 带位置反馈信号，方便设备自动化联锁控制
• 坚固阀体结构，长期循环开关，密封性能衰减小

对比优势

1. 对比橡胶密封闸阀：可高温烘烤，无挥发污染，适配极高真空与射频等离子环境
2. 对比普通金属闸阀：针对射频场景做材质与结构优化，抗等离子腐蚀，寿命更长
3. 密封漏率优于行业通用闸阀，降低腔体返气风险，提升工艺良率
4. 标准化 CF 法兰接口，替换安装便捷，自动化信号接口兼容主流真空设备控制系统

运用场景

• 半导体刻蚀、PVD/CVD 镀膜设备真空管路隔离
• 射频等离子工艺腔体、离子束设备
• 极高真空科研实验装置、同步辐射设备
• 航天器件真空测试、表面处理设备
• 需要高温烘烤、无碳氢污染的超高 / 极高真空系统