瑞士 VAT 48.1 极高真空全金属闸阀

产品介绍

VAT 48.1 为全金属密封极高真空闸阀，阀体无橡胶密封件，耐受高温烘烤，可实现极高真空隔离。采用金属刀口密封结构，驱动可选气动 / 手动，泄漏率极低，抗腐蚀、耐出气，适配严苛真空工艺环境，广泛用于科研设备与半导体**真空腔体，保障高真空管路通断与隔离控制。

产品参数

• 公称通径：DN16‑DN100
• 密封形式：全金属刀口密封
• 工作真空压力：1×10⁻¹² mbar（极高真空）
• 烘烤温度：阀体*高 250℃
• 驱动方式：气动、手动可选
• 漏率：≤1×10⁻¹¹ mbar・L/s
• 阀体材质：不锈钢
• 法兰标准：CF 超高真空法兰
• 工作温度：‑20℃~+80℃（非烘烤状态）

产品特点

• 全金属无橡胶密封，支持高温烘烤，无有机物析出
• CF 法兰接口，适配极高真空腔体系统
• 刀口金属密封，极低泄漏，长期真空稳定性好
• 结构紧凑，流导大，气流阻力小
• 多种驱动可选，可配置位置反馈信号，便于自动化集成

对比优势

1. 对比橡胶密封闸阀：可高温烘烤，不会出现橡胶老化释气，满足 UHV/XHV 极高真空要求
2. 普通金属闸阀相比：VAT 刀口加工精度高，重复开关密封一致性更好，使用寿命更长
3. 整机抗腐蚀，适合活性气体工况，降低腔体污染风险
4. 标准化 CF 接口，替换与设备改造便捷，配套配件通用性强

运用场景

• 半导体极高真空工艺腔体
• 同步辐射、粒子加速器科研装置
• 表面分析设备、电子束设备真空管路
• 薄膜沉积、分子束外延 MBE 设备
• 航天模拟真空舱、材料超高真空实验系统