瑞士 VAT 48.2 极高真空全金属闸阀

产品介绍

VAT 48.2 为全金属密封极高真空闸阀，采用金属刀口密封结构，无弹性橡胶部件，可耐受高温烘烤，实现极高真空隔离。适配严苛真空工艺环境，具备低漏率、耐辐照特性，驱动可选气动 / 电动，广泛用于科研设备与半导体**制程，保障真空腔体可靠通断与隔离。

产品参数

• 阀体材质：不锈钢
• 密封形式：全金属刀口密封
• 压力范围：大气～1×10⁻¹¹ Pa 极高真空
• 烘烤温度：*高 250℃
• 驱动方式：气动、电动可选
• 漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
• 通径规格：DN40‑DN250 多规格可选
• 安装方式：法兰连接
• 工作介质：洁净干燥气体、真空环境

产品特点

• 全金属无橡胶密封，支持高温烘烤，无有机材料释气
• 极低泄漏率，满足极高真空工况要求
• 阀板结构稳定，抗热变形，耐粒子辐照
• 模块化驱动单元，维护拆装便捷
• 多种法兰接口，适配主流真空腔体接口

对比优势

1. 对比橡胶密封闸阀：可高温烘烤，出气率极低，适合 UHV/XHV 极高真空，使用寿命更长
2. 相比同类国产金属闸阀：密封一致性好，漏率控制稳定，长时间运行性能衰减小
3. 结构紧凑，流导优异，开关响应快，适配连续工艺生产与实验室长期运行

运用场景

• 同步辐射、粒子加速器科研装置
• 超高真空表面分析设备
• 半导体薄膜沉积、离子注入**制程
• 航天器件真空模拟测试舱
• 电子显微镜、质谱仪超高真空腔体隔离