瑞士 VAT 54.1 易闭式超高极高真空角阀

产品介绍

VAT 54.1 为易闭式全金属超高、极高真空角阀，阀体全部金属密封结构，无弹性橡胶件，耐受高温烘烤，适配严苛真空工况。支持多种驱动方式，漏率极低，可应对粒子加速器、半导体、科研真空腔体等对出气、泄漏要求严苛的场景，可靠隔离真空腔体，保障系统极高真空稳定运行。

产品参数

• 阀门类型：全金属易闭式角阀
• 适用真空等级：超高真空 UHV / 极高真空 XHV
• 密封形式：全金属金属密封
• 烘烤温度：*高 250℃
• 驱动方式：气动、手动、电磁驱动可选
• 泄漏率：≤1×10⁻¹² Pa・m³/s
• 接口规格：CF 法兰标准接口
• 阀体材质：不锈钢
• 工作温度：‑20℃～250℃

产品特点

• 全金属密封设计，无有机密封圈，出气率极低，支持高温烘烤除气。
• 易闭式结构，阀关闭动作响应快，紧急工况下快速切断气路。
• CF 标准法兰接口，适配主流超高真空腔体，拆装维护便捷。
• 多驱动可选，可实现远程自动化控制，适配自动化真空产线。
• 抗腐蚀，耐高低温循环，阀体结构坚固，使用寿命长。

对比优势

1. 相比橡胶密封角阀，无有机物释放，可达到极高真空，适合不能有碳氢污染的工艺。
2. 易闭式动作，故障状态下可快速闭合，提升设备与样品**。
3. 金属密封性能稳定，反复开关后泄漏指标衰减小，减少校准维护频次。
4. 烘烤温度更高，腔体除气更彻底，满足科研、特种工业严苛真空指标。
5. 相比同类国产全金属阀，一致性、重复性更好，降低真空系统故障概率。

运用场景

• 粒子加速器、同步辐射科研实验装置
• 半导体研发、薄膜沉积超高真空腔体
• 表面分析仪器、电子显微镜真空系统
• 核聚变相关实验设备、航天模拟真空舱
• 材料科研、极高真空理化实验平台