瑞士 VAT 57.0 极高真空全金属角阀

产品介绍

VAT 57.0 为极高真空工况专用全金属密封角阀，阀体整体采用金属密封结构，无橡胶密封圈污染风险，可承受高温烘烤，漏率极低。支持气动驱动，开关响应迅速，适用于严苛超高、极高真空管路通断控制。广泛用于科研设备、半导体、加速器等高洁净真空系统，保障管路隔离与通断可靠运行。

产品参数

• 阀体形式：全金属密封角阀
• 真空等级：极高真空 UHV
• 驱动方式：气动驱动
• 烘烤温度：*高 250℃
• 密封材质：金属铜密封
• 漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
• 接口规格：CF 法兰接口
• 工作温度：‑20℃～+80℃（非烘烤状态）
• 阀体材质：不锈钢
• 控制信号：可选位置反馈信号

产品特点

• 全金属无弹性体密封，彻底规避有机物释气污染
• 支持整机高温烘烤，适配极高真空系统除气需求
• CF 标准法兰，真空管路兼容性强，拆装维护便捷
• 气动执行机构，启闭速度快，带阀位状态反馈
• 阀体抗腐蚀，低出气率，满足高洁净工艺环境

对比优势

1. 对比橡胶密封角阀：可高温烘烤、出气极低，适配 UHV 极高真空，不会出现橡胶老化漏气问题
2. 对比同类竞品：VAT 金属密封工艺成熟，重复开关寿命更长，漏值稳定性好
3. 结构紧凑角式流道，流导性能优异，管路布局占用空间小
4. 标准化配件，备件采购更换方便，降低设备停机维护成本

运用场景

• 半导体研发、镀膜设备极高真空管路隔离
• 科研实验室：电子束设备、质谱仪、表面分析仪器
• 粒子加速器、同步辐射装置真空管路
• 航天模拟真空舱、材料真空热处理系统
• 离子源、分子泵机组前端管路通断控制