瑞士 VAT 57.1 极高真空全金属角阀

产品介绍

VAT 57.1 为极高真空工况专用全金属角阀，阀体全部金属密封结构，无橡胶密封件，可承受高温烘烤，实现极高真空等级。驱动方式可选气动 / 手动，流导性能优异，漏率极低，耐受腐蚀性气体，广泛用于科研及半导体**真空腔体，是超高、极高真空管路切断与隔离的核心元件。

产品参数

• 阀体材质：不锈钢
• 密封形式：全金属金属密封
• 压力范围：大气～1×10⁻¹² Pa（极高真空）
• 烘烤温度：*高 250℃
• 驱动类型：气动、手动可选
• 公称通径：DN16‑DN100
• 内部漏率：＜1×10⁻¹¹ Pa・m³/s
• 法兰标准：CF 法兰
• 工作介质：惰性气体、腐蚀性工艺气体

产品特点

• 全金属密封设计，无弹性橡胶件，支持高温烘烤除气
• CF 法兰接口，适配极高真空系统标准管路
• 极低内部漏率，放气率低，保障极限真空获取
• 阀体结构紧凑，流导大，气体通流阻力小
• 多种驱动可选，可适配自动化真空设备集成

对比优势

1. 对比橡胶密封角阀：可高温烘烤，不会出现橡胶老化放气，满足极高真空要求
2. 同类全金属阀相比：VAT 机械结构稳定，重复启闭密封可靠性高，使用寿命长
3. 流导优于同口径竞品，降低真空机组负载，缩短抽气时间
4. 耐腐蚀性更强，适配特种工艺气体，减少阀体腐蚀失效风险

运用场景

• 科研实验室极高真空腔体、表面分析仪器
• 半导体设备离子注入、电子束工艺真空管路隔离
• 薄膜沉积、MBE 分子束外延设备真空回路
• 航天部件真空模拟测试系统
• 特种气体、腐蚀性气体超高真空管路通断控制