瑞士 VAT 24.2 带密封保护系统角阀

产品介绍

VAT 24.2 为配置密封保护系统的高真空角阀，专为严苛真空工况设计，集成密封气保护结构，可隔离粉尘、腐蚀性工艺气体侵蚀密封件，大幅延长密封圈使用寿命。支持气动驱动，启闭响应快，泄漏率低，适配半导体、镀膜、真空工艺设备，兼顾隔断与通断控制，适合对密封可靠性要求高的生产环境。

产品参数

• 阀体通径：DN16‑DN100
• 工作真空压力：1×10⁻⁸ Pa ~ 1 bar
• 驱动方式：气动驱动
• 漏率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
• 密封保护：集成吹扫密封保护气路接口
• 阀体材质：不锈钢
• 密封材质：氟橡胶 / 金属密封可选
• 工作温度：‑20℃~+150℃
• 法兰标准：ISO‑KF、ISO‑F

产品特点

• 专属密封保护系统，通入保护气体隔绝工艺介质直接接触密封件
• 不锈钢阀体，抗腐蚀，耐颗粒粉尘工况
• 气动驱动，动作稳定，可配位置反馈信号
• 低泄漏，满足高真空工艺隔断需求
• 结构紧凑，安装调试便捷，维护拆装简单

对比优势

1. 对比普通角阀：密封保护系统有效阻挡粉尘、腐蚀性气体，密封圈寿命提升，减少频繁更换停机
2. 驱动稳定性好，重复启闭精度高，适合连续量产工况
3. 兼容多种法兰规格，适配主流真空设备接口
4. 泄漏控制性能优异，降低真空腔体漏气风险
5. 信号反馈可选，方便接入设备自动化控制系统

运用场景

半导体工艺设备、PVD/CVD 镀膜设备、科研超高真空腔体、等离子处理设备、腐蚀气体工艺管路、工业真空烧结、真空检测设备、特种材料真空处理系统。