瑞士 VAT 59.0 超高真空全金属可调微漏阀

产品介绍

VAT 59.0 为全金属结构超高真空可调微漏阀，专为精密微量气体导入设计，无有机密封件污染风险，可实现极小流量精准调节。阀体耐高温烘烤，适配 UHV 超高真空工况，具备优异的气密性与长期稳定性，广泛用于科研设备与半导体真空工艺，可稳定控制微量进气，满足严苛真空腔体气体配比需求。

产品参数

• 产品型号：VAT 59.0
• 阀体材质：全金属（不锈钢）
• 真空等级：超高真空 UHV
• 烘烤温度：*高 200℃
• 调节方式：手动精密微调
• 漏率范围：10⁻⁷~10⁻¹³ Pa・m³/s 微量调节
• 接口形式：标准法兰 KF/CF 可选
• 工作压差：*大 1bar
• 密封结构：金属硬密封，无橡胶件

产品特点

• 全金属硬密封结构，无弹性橡胶，可高温烘烤除气
• 高精度手动微调结构，实现极小流量连续可控
• 极低本底漏率，适配超高真空腔体工况
• 结构紧凑，抗腐蚀，放气率极低
• 阀位调节手感顺滑，重复调节一致性好

对比优势

1. 对比橡胶密封微漏阀：可高温烘烤，无有机物析出，不会污染腔体，适合超高真空环境
2. 国产同类微漏阀：流量调节分辨率更高，长期使用漂移小，漏率指标更稳定
3. 其它品牌金属微漏阀：VAT 机械寿命更长，备件通用性强，真空行业配套认可度高

运用场景

• 科研实验室：分子束外延 MBE、表面分析设备微量进气
• 半导体：镀膜设备、离子注入微量工艺气体导入
• 真空分析仪器：质谱仪、电子显微镜腔体气体微调
• 真空工艺设备：超高真空腔体分压精准调控
• 材料研发设备：气体配比、微量气体泄露模拟测试