瑞士 VAT 95.3 高真空控制隔离阀组合单元

产品介绍

VAT 95.3 为一体化高真空控制 + 隔离阀组合单元，集成隔离切断与流量调节功能，省去管路拼装，降低真空腔体泄漏风险。适配中高真空工况，驱动响应迅速，阀位闭环控制精度高，采用耐真空腐蚀密封组件，可适配半导体、镀膜设备严苛工艺，简化设备集成，减少现场装配调试工作量。

产品参数

• 公称通径：DN25‑DN200
• 真空压力范围：1×10⁻⁷ ~ 1000 mbar
• 驱动方式：气动执行器，可选电动驱动
• 阀位控制：闭环伺服定位控制
• 漏率：≤1×10⁻⁹ mbar・L/s
• 工作温度：‑20℃ ~ +150℃
• 信号接口：Profinet / 4‑20mA / 开关量信号
• 密封材质：金属密封 + 氟橡胶复合密封

产品特点

• 控制阀 + 隔离阀一体化集成设计，双阀一体结构
• 闭环阀位反馈，流量调节线性度好，工艺稳定性高
• 金属主密封，低漏率，适配腐蚀性工艺气体环境
• 模块化单元，接口标准化，便于整机设备集成
• 气动驱动动作快，具备**失效保护断阀功能

对比优势

1. 对比分体阀组：减少法兰、管路接头，降低泄漏点，缩短装配工时
2. 普通独立控制阀：兼具可靠隔离切断，检修无需额外加装旁路阀
3. 控制精度优于国产组合阀，阀位重复度高，工艺波动更小
4. 整机出厂调试完成，现场仅需对接管路与电气，降低调试故障

运用场景

半导体工艺设备、PVD/CVD 镀膜设备、真空热处理设备、科研实验真空系统、锂电池真空工艺设备、等离子处理设备，需要同时实现管路切断与真空流量调节的成套真空装备。