瑞士 VAT 21.2 不锈钢高真空泄压阀

产品介绍

VAT 21.2 属于高真空泄压阀，专为真空腔体超压保护设计，可在预设压力下自动开启泄压，防止腔体、泵组因压力异常受损。支持气动驱动，密封性能稳定，响应速度快，适配多种真空工艺环境，广泛配套半导体、镀膜、科研真空设备，保障整套真空系统运行**，维护真空腔体与元器件使用寿命。

产品参数

• 阀体类型：真空泄压阀 / 过压保护阀
• 适用真空区间：大气压～1×10⁻⁷ Pa
• 驱动方式：气动驱动
• 公称通径：DN16‑DN100
• 阀体材质：不锈钢
• 密封材质：氟橡胶 / 金属密封可选
• 设定泄压压力：可现场调节
• 法兰标准：ISO‑KF、ISO‑F
• 工作温度：‑20℃~+120℃

产品特点

• 可调节泄压阈值，实现精准过压防护
• 不锈钢阀体，耐工艺气体腐蚀，洁净度高
• 动作响应迅速，超压时快速释放腔体压力
• 双重密封结构，泄压复位后真空漏率低
• 结构紧凑，便于集成安装在真空管路、腔体侧面

对比优势

1. 对比普通**阀，适配高真空工况，兼顾泄压与高密封，普通**阀无法满足超高真空漏率要求
2. 泄压压力可调，适配不同设备工艺要求，通用性更强
3. 抗腐蚀阀体，可兼容部分轻微腐蚀性工艺气体
4. 拆装维护简单，备件流通成熟，降低后期运维成本

运用场景

1. 半导体工艺真空腔体过压**保护
2. PVD/CVD 镀膜设备真空管路泄压防护
3. 科研实验室各类真空炉、真空反应腔体
4. 真空冶金、真空热处理设备**配套
5. 锂电池、新材料研发真空成套设备