瑞士 VAT 23.0 阀门机构和泵出系统

产品介绍

VAT 23.0 为集成式阀门机构与泵出组合系统，适配中高真空工况，将真空阀、泵出通路、驱动单元一体化集成。兼顾隔离、调压与泵抽功能，可快速实现腔体抽真空、隔断气路，密封性与响应速度优异，模块化结构便于装配维护，广泛配套半导体、镀膜科研真空设备，保障真空腔体工况稳定可控。

产品参数

• 产品类型：集成阀门机构 + 泵出系统
• 工作真空范围：1×10⁻⁷ ~ 1000 mbar
• 驱动方式：气动驱动
• 密封形式：金属密封
• 标准接口：多种法兰可选（CF/KF）
• 工作温度：‑20℃～+120℃
• 泄漏率：≤1×10⁻⁹ mbar・L/s
• 控制信号：开关量 / 模拟量可选
• 阀体材质：不锈钢

产品特点

• 阀门与泵出管路一体化集成，减少现场管路焊接组装工作量
• 金属密封结构，低漏率，耐腐蚀性工艺气体
• 气动驱动，开关动作迅速，支持远程信号控制
• 结构紧凑，节省真空设备整机安装空间
• 带状态反馈信号，可接入设备 PLC 实现自动化联锁

对比优势

1. 对比分体式阀 + 泵出管路：集成预制组件，降低管路泄漏风险，缩短整机调试周期
2. 金属密封优于橡胶密封，可适配高温、特种工艺气体工况，使用寿命更长
3. 自带状态反馈，便于自动化产线联动，稳定性优于普通普通组合管路套件
4. 标准化模块化，备件通用性强，后期维护拆卸便捷

运用场景

1. 半导体工艺腔体泵抽、隔离气路系统
2. PVD/CVD 镀膜设备真空泵出单元
3. 科研实验室真空腔体集成气路
4. 真空热处理、钎焊设备前端泵出隔断
5. 分析仪器、粒子检测设备真空管路系统