瑞士 VAT 21.1 精密气体计量阀

产品介绍

VAT 21.1 属于精密气体计量控制阀，专为真空工艺气体流量精准调节开发，适配高真空、工艺气体供给工况。采用金属密封结构，重复控制精度高，可搭配多种驱动执行机构，响应速度快，泄漏率低。广泛服务半导体、镀膜、科研真空设备，实现工艺腔体内气体压力与流量闭环控制，保障制程稳定性与一致性。

产品参数

• 阀体类型：气体计量控制阀
• 密封形式：金属密封
• 工作真空范围：大气压～1×10⁻⁷ Pa
• 公称通径：DN10‑DN50
• 驱动方式：气动 / 电动伺服驱动
• 漏率：<1×10⁻⁹ Pa・m³/s
• 控制调节比：1000:1
• 工作温度：‑20℃～+150℃
• 接口标准：CF/KF 法兰可选

产品特点

• 高精度伺服调节，微小气体流量可控，调节线性度**
• 全金属密封，耐腐蚀性工艺气体，可适配超高真空环境
• 快速响应，支持闭环压力 / 流量控制，波动小
• 阀体结构紧凑，便于真空管路集成安装
• 维护周期长，抗颗粒污染，适合连续工业化制程

对比优势

• 对比普通针阀：调节分辨率更高，可自动化闭环控制，不依赖人工手动调节
• 对比国产计量阀：金属密封工艺成熟，极低本底泄漏，长期工况漂移小，一致性好
• 同级别进口阀：VAT21.1 阀体体积更小，适配多规格法兰，驱动配件通用性强，备件供应链成熟

运用场景

1. 半导体 PVD、CVD 设备工艺气体精准馈入
2. 光学镀膜、离子束设备气体流量调控
3. 科研实验室真空腔体气体配比、压力稳定控制
4. 等离子工艺、刻蚀设备进气控制单元
5. 真空冶金、薄膜制备行业气体计量管路