瑞士 VAT 22.0 高真空隔膜阀

产品介绍

VAT 22.0 系列高真空隔膜阀，为中小口径真空管路通断控制设计，采用金属隔膜密封结构，实现无泄漏隔断。适配粗真空至高真空工况，可选手动、气动驱动方式，阀体材质耐腐蚀，结构紧凑，维护便捷。广泛用于科研设备、半导体、镀膜设备真空管路，保障管路高密封性与工作稳定性。

产品参数

• 公称通径：DN10‑DN50
• 工作真空范围：1×10⁻⁷ mbar ~ 大气压
• 密封形式：金属隔膜密封
• 驱动方式：手动 / 气动
• 阀体材质：不锈钢 316L
• 法兰标准：KF 法兰
• 漏率：≤1×10⁻⁹ mbar・L/s
• 工作温度：‑20℃ ~ +120℃

产品特点

1. 金属隔膜密封，无润滑剂污染，适合洁净真空环境

2. KF 快卸法兰，拆装便捷，占用安装空间小

3. 多种驱动可选，适配手动调试与自动化产线

4. 阀体耐腐蚀性气体，隔膜更换简单，后期维护成本低

5. 开关动作迅速，启闭可靠，重复密封性能稳定

对比优势

相比普通橡胶密封真空阀，金属隔膜无释气，不会污染真空腔体，满足高洁净要求；对比同规格其他品牌隔膜阀，VAT 22.0 漏率更低，隔膜使用寿命更长，抗疲劳性能好；体积小巧，适配紧凑设备布局，配件通用性强，备件供货成熟。

运用场景

半导体工艺设备、实验室真空系统、镀膜设备管路隔断、分析仪器真空单元、真空检漏设备、科研实验腔体、小型真空炉管路、特种气体真空管路控制。