规格

• 数字通信

  RS485/RS232（4800 至 230400 波特）
• 传感器

  MicroPirani™（MEMS热导率）
• 接力赛

  3个单刀双掷继电器（可选）
• 安装指南

  任何
• 测量范围

  1.0 x 10⁻⁵ Torr至大气
• 设定点范围

  5.0 x 10⁻⁴ Torr至 500 Torr
• 校准气体

  空气、氩气、氦气、氮气、氢气、水蒸气、二氧化碳、氙气、氖气
• 工作温度

  0°至40°C（32°至104°F）
• *高烘烤温度

  85°C (185°F)，非工作温度
• 数字控制

  零点调整、大气压调整、压力单位、波特率、地址、出厂默认设置、气体类型；设定点功能：值、滞后、方向、启用模拟输出、传感器状态、开关、LED 测试
• 数字状态

  压力读数和单位、设定点、运行时间、传感器温度、用户标签、型号、设备类型、序列号、固件和硬件版本、部件号、制造商
• 模拟输出

  1 至 9 VDC，*大输出阻抗 100Ω，每十倍频程 1 伏

• 模拟输出分辨率

  16 位
• 继电器触点额定值

  1 A @ 30VAC/DC，阻性负载
• 接力响应

  *大小于100毫秒
• 电源要求

  9 至 30 伏直流电，*大功率小于 1.5 瓦
• 准确性

  5 x 10⁻⁴至 10⁻³ Torr，读数的±10%；
  10⁻³至 100 Torr，读数的±5%；100 Torr 至 atm，读数的±25% 。
  
• 重复性

  10⁻³至 100 Torr ± 读数的 2% 。
• 超压限制

  3000托**压力
• 内部容积

  （KF16）2.80 cc
• 裸露材料

  304不锈钢、硅、二氧化硅、氮化硅、金、氟橡胶®、低挥发性环氧树脂
• 电子外壳和法兰

  304不锈钢
• 重量

  170 克 (KF 16)
• 遵守

  中央电气

特征

微型皮拉尼™传感器技术

925型传感器基于热导率测量，测量范围从1×10⁻⁵ Torr到大气压。该MicroPirani传感器由一块硅芯片和一个加热电阻元件组成，该元件构成一个腔体的一个表面。芯片上方的盖子构成腔体的另一个表面。由于传感器的几何结构，腔体内不会发生对流，因此传感器对安装位置不敏感。气体分子仅通过扩散作用到达加热元件，并测量气体的热损失。

常用气体校准

与所有热导率传感器一样，925 型传感器对气体类型非常敏感。为了弥补气体依赖性，MicroPirani 内置了多种常用气体校准模式，可通过数字界面进行选择。这使其成为定位真空系统中中等至微小泄漏的简便解决方案。校准气体包括：空气、氩气、氦气、氮气、氢气、水蒸气、二氧化碳、氙气和氖气。

模拟压力输出

925 型压力表还具有 1VDC/十倍频程的模拟压力输出，可与外部模拟设备连接，用于压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可通过数字用户界面进行选择。

过程控制继电器

925 *多可配备三个机械继电器，可用于过程控制，例如联锁阀或泵。

可选集成式触摸屏显示器

可选的集成式触摸屏显示器可由用户配置；用户可以更改压力单位、方向，并访问设定点参数以及气体类型。该显示器还会指示可用设定点继电器的状态。高对比度显示屏上显示的压力读数（来自单个传感器或组合读数）可在 5 米以外清晰可见。