规格

• **测量范围

  1.0 x 10 -5至 1,500 托
• 数字通信

  RS485/RS232（4800-230400 波特）
• 传感器

  **类：微型皮拉尼（MEMS热导率）
  **类：压电**式（MEMS隔膜）
• 接力赛

  3 个单刀双掷继电器（可选）
• 安装指南

  任何
• 设定点范围

  **压力：5.0 x 10⁻⁴至1,500 托
• 校准气体

  空气、氩气、氦气、氮气、氢气、水蒸气、二氧化碳、氙气、氖气
• 工作温度

  0-40°C (32-104°F)
• *高烘烤温度

  85°C (185°F)，非工作温度
• 数字控制

  零点调整、量程调整、模拟输出、压力单位、波特率、地址、出厂默认设置、设定点功能：值、滞后、方向、使能、传感器状态、开关、LED 测试
• 数字状态

  压力读数、单位、设定点、运行时间、传感器温度、用户标签、型号、设备类型、序列号、固件和硬件版本、部件号、制造商
• 模拟输出

  1-9.2 VDC，1 VDC/十倍频程，*大输出阻抗 100Ω（**压力）

• 模拟输出分辨率

  16 位
• 继电器触点额定值

  1 A @ 30VAC/DC，阻性负载
• 接力响应

  *大 100 毫秒
• 电源要求

  9-30伏直流电，150毫安，*大功率小于1.2瓦
• 准确性

  5 x 10⁻⁴至 1 x 10⁻³ Torr，读数的 ±10%；
  1 x 10⁻³至 11 Torr，读数的 ±5%；
  11 至 1000 Torr，读数的 ±0.75%。
• 重复性

  5 x 10⁻⁴至 10⁻³ Torr，读数的 ±8%；
  10⁻³ Torr 至 11 Torr ，读数的 ±2%；
  11 至 1000 Torr，读数的 ±0.2%。
• 超压限制

  2250 托（**压力）
• 内部容积

  2.8 cc (KF16)
• 裸露材料

  硅、二氧化硅、氮化硅、金、低挥发性环氧树脂、304不锈钢、Viton®
• 电子外壳和法兰

  304不锈钢
• 重量

  170 克（带 KF 16 法兰）
• 遵守

  中央电气

特征

MicroPirani™传感器技术

与传统的皮拉尼压力表不同，MicroPirani 的传感器元件由一块 1 毫米见方的硅芯片构成，因此可以在极小的空间内进行测量。得益于 MicroPirani 技术，910 型号的压力测量范围可低至 10⁻⁵ Torr，比标准皮拉尼传感器低二十个数量级。该传感器设计*大限度地减少了对流的影响，因此 910 型号可以任意方向安装而不会影响精度。

压电式**压力传感器

压电式压力传感器是一种**压力传感器，可直接读取压力值，因此测量结果不受气体种类影响。该传感器的测量范围为小于 1 Torr 至 1500 Torr。

模拟压力输出

910 型号还具有 1VDC/十倍频程的模拟压力输出，可与外部模拟设备连接，用于压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可通过数字用户界面进行选择。

RS232 或 RS485 数字通信

910 具有 RS232 或 RS485 数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。

过程控制继电器

910 型号*多可配备三个机械继电器，用于过程控制，例如联锁隔离阀和真空泵。每个设定点均可分配给压电测量或组合**式微皮拉尼/压电测量。

紧凑型设计

这些真空传感器的紧凑设计显著减少了真空计占用的空间。这对于系统设计人员来说尤其具有吸引力，并有助于构建更紧凑的真空系统。

可选集成式触摸屏显示器

可选的集成式触摸屏显示器可由用户配置；用户可以更改压力单位、方向，并访问设定点参数以及气体类型。该显示器还会指示可用设定点继电器的状态。高对比度显示屏上显示的压力读数（来自单个传感器或组合读数）可在 5 米以外清晰可见。