规格

• **测量范围

  1 x 10⁻⁸ Torr 至 5 x 10⁻³ Torr
• 数字通信

  RS485 或 RS232
• 类型

  真空换能器
• 传感器

  冷阴极
• 展示

  触摸屏（可选）
• 密封材料

  氟橡胶
• 围栏

  标准型或IP56
• 电气连接器

  15针，高密度，D-sub公头
• 接力赛

  0 或 3
• 安装指南

  任何
• 设定点范围

  1 x 10⁻⁸ Torr 至 5 x 10⁻³ Torr
• 校准气体

  氮
• 工作温度

  0-40°C (32-104°F)
• *高烘烤温度

  85°C (185°F)，非工作温度

• 数字控制

  压力单位、波特率、地址、出厂默认设置、用户标签、RS485 测试、气体校正；设定点功能：值、滞后、方向、高压使能、保护、控制设定点、气体类型
• 数字状态

  压力读数和单位、设定点、传感器温度、用户标签、型号、设备类型、序列号、固件和硬件版本
• 模拟输出

  每十倍电压变化0.5伏直流电
• 继电器触点额定值

  1 A @ 30VAC/DC，阻性负载
• 电源要求

  9-30伏直流电，2瓦
• 准确性

  5 x 10⁻⁸ Torr至10⁻³ ± 30% 读数
• 重复性

  5 x 10⁻⁸ Torr 至 10⁻³ ± 30% 读数
• 超压限制

  1500托
• 内部容积

  21毫升
• 裸露材料

  304 和 403 不锈钢、Viton®、铜镍合金和银铜合金、陶瓷、钛
• 电子外壳和法兰

  304不锈钢
• 重量

  12.7盎司（360克）
• 遵守

  中央电气

特征

数字通信

970B系列真空变送器配备RS232、RS485和EtherCAT（**972B）数字通信接口，用于设置变送器参数并提供实时压力测量。该数字接口可用于控制压力单位、波特率、地址、出厂默认设置、用户标签、RS485测试、气体校正；以及设定点功能：数值、滞后、方向、高压使能、保护、控制设定点和气体类型。

每十倍频程 0.5 VDC 模拟输出

所有970B系列传感器均具有每十倍频程0.5VDC的模拟压力输出，可与外部模拟设备连接，用于压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可通过数字用户界面选择。它能够模拟来自各种其他真空传感器的模拟电压输出。在OEM应用中，无需更改系统软件，即可利用此模拟功能升级和替换其他供应商的压力表。

可选集成式触摸屏显示器

可选的集成式触摸屏显示器可由用户配置；用户可以更改压力单位、方向，并访问设定点参数以及气体类型。该显示器还会指示可用设定点继电器的状态。高对比度显示屏上显示的压力读数（来自单个传感器或组合读数）可在 5 米以外清晰可见。

过程控制继电器

970B系列继电器*多可连接三个机械式单刀单掷(SPST)继电器，可用于过程控制，例如联锁阀门或泵。继电器触点额定电流为1安培，工作电压为30伏交流电或直流电，负载为阻性负载。

应用程序

传感器和变送器测量范围。从上到下依次为：971B、972B 和 974B

970B系列传感器是紧凑型、低成本的真空测量解决方案，适用于大气压至10⁻⁸ Torr的压力范围。970B系列传感器尺寸小巧，是系统集成商缩小体积、实现小型化的理想之选。

应用领域包括：

• 分析设备（质谱仪控制）
• 扫描电子显微镜
• 涂层系统
• 半导体负载锁压力控制
• 通用真空基压测量