HORIBA 堀场 D700T 高性能质量流量控制器

一、 产品定位

二、 核心技术和原理

• CRITERION 技术：采用 HORIBA **的基于压力计算的 CRITERION 流量测量与控制技术，取代了传统的流量测量方式。
• **双阀结构：特别采用了具有**的双阀门结构（入口常开阀 + 出口常闭阀），结合**流量控制算法，使气体输送系统能够应对更复杂的工艺挑战。

三、 产品优势与特点

• 极速响应：全范围流量设定的建立时间（包括设定、上升与下降）均小于或等于 100 毫秒，大幅提升生产效率。
• 进/出口压力不敏感：具备出色的压力补偿机制，在工艺过程中即使发生进、出口压力波动，也能维持稳定的流量输出，保障工艺一致性。
• 高精度与高重复性：控制精度*佳可达 ±0.45% S.P.（标准精度为 ±0.8% S.P.），重复性在 0.15% S.P. 以内。
• 先进的故障检测：具备优良的自诊断能力，能够实时监测并反馈压力传感器漂移、阀座泄漏和流量精度变化等潜在风险。
• 高**性：在发生故障时，双阀结构能够在 0.1 秒内迅速切断气流。
• 宽泛的环境适应性：工作温度范围宽达 15°C ~ 60°C，适应无尘室边缘高温区等严苛环境。

四、 主要应用场景

• 半导体前段工艺：如刻蚀（Etch）、化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）、离子注入等。
• 显示面板制造与光电子/精密材料工艺。
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