成为连接全球半导体资源 与国内终端需求的核心桥梁
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特性 详细说明 压力不敏感 (PI) 内置高性能压力补偿，进气压力波动 ±10% 甚至更大时，流量控制不受影响，简化供气系统。 极速响应 响应时间 < 0.8秒，阶跃响应迅速，适合ALD、快速脉冲CVD等对时序要求极高的工艺。 宽动态范围 控制范围 0.2% ~ 100% F.S.，在极小流量下仍能保持线性度和稳定性。 多气体/多量程 用户可通过软件现场更改气体种类（如N₂, Ar, He, H₂等）、满量程及供压范围，一机多用。 高可靠性 全金属密封流路，无橡胶O型圈，耐等离子体腐蚀，无颗粒产生，延长维护周期。 智能维护 G-LIFE 功能支持预测性维护，降低设备意外停机时间（Down Time）。