HORIBA 堀场 SEC-Z727SMG新型质量流量控制器

一、 产品定位

二、 核心技术和原理

• 新型热传感器与压力补偿技术：配备了新开发的热传感器，并集成了压力测量与补偿功能。这使得设备能够直接测量并控制气体的质量流量，且不受上游和下游压力波动的影响。
• 全金属超洁净设计：气体接触部分采用全不锈钢（SUS-316L）结构，配备金属隔膜，并经过标准的内部抛光表面处理，以满足半导体级别的超洁净要求。

三、 产品优势与特点

• 流量稳定性：具备出色的压力补偿功能，确保气流控制稳定，有效避免了传统多腔室气体管线中因压力波动引起的质量流量控制器串扰现象。
• 高精度与高重复性：在流量≥5%的条件下，确保 1% 的设定点精度，重复性高达 ≤±0.15%。
• 系统简化与降本：集成了压力测量功能，替代了传统管线中必需的管线调节器、压力传感器和过滤器，大幅降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。
• 高灵活性与多气体兼容：支持多气体/多量程功能，客户可在用户侧自行更改气体类型和满量程流量，从而减少备件库存数量，降低管理成本。
• 宽泛的控制与响应范围：范围控制广（0.5-100% 满量程），响应时间可调（300ms≤t≤1000ms），且阀座泄漏率极低（≤0.1% 满量程）。
• 通讯与显示兼容：支持 EtherCAT 和 DeviceNet 通讯模式，并配备多重集成显示功能。

四、 主要应用场景

• 半导体制造：广泛应用于 CVD（化学气相沉积）机台、Etch（刻蚀）机台等核心制程中的高精度气体流量控制。
• 泛半导体与新能源：适用于 FPD（平板显示）、LED、太阳能光伏及光纤等细微世界的制造工艺。
• 其他高要求工业领域：涵盖石油化工、化学、制药、生物产业、能源及环保等行业的工艺过程检测控制。