HORIBA 堀场 SEC-Z500X数字式气体质量流量控制器

一、 产品定位

二、 核心技术和原理

• 传感原理：采用热式质量流量传感（Thermal Mass Flow Sensing）技术，直接测量流体的质量流量，不受流体温度、压力波动的影响。
• 控制核心：搭载压电陶瓷阀（Piezoelectric Valve），相比传统电磁阀具有更快的响应速度和更长的使用寿命，且无摩擦磨损。
• 算法技术：
  • 可变 PID 系统（Variable PID）：根据流量设定点持续自动调整 PID 系数，确保在任意两个设定点之间实现 1秒内 的高速响应，且在切换气体或量程后无需重新整定。
  • 多项式曲线补偿：利用高阶多项式近似曲线对线性度进行补偿，消除传感器非线性误差，实现全量程范围内的高精度。
• 校准体系：基于 HORIBA STEC 内部高精度流量基准系统，并追溯至 NIST（美国国家标准与技术研究院） 标准，确保真实气体精度。

三、 产品优势与特点

四、 主要应用场景

1. 半导体制造：
   • CVD（化学气相沉积）：**控制前驱体气体和载气流量，保证薄膜厚度和均匀性。
   • Etch（等离子体蚀刻）：快速响应气体切换，控制蚀刻速率和侧壁形貌。
   • Diffusion/Oxidation：高温工艺下的稳定气体供给。
2. 光纤制造：
   • 预制棒生产：在 MCVD/OVD 工艺中，**控制 SiCl₄、GeCl₄、POCl₃ 等液体源的汽化载气流量，配合高温 MFC 使用，确保光纤折射率分布精准。
3. 其他领域：
   • 平板显示（FPD）、LED、太阳能光伏、实验室分析仪器及环境监测。