HORIBA 堀场 SEC-E40MK3 数字质量流量控制器

一、 产品定位

SEC-E40MK3 是 HORIBA STEC 推出的 MARK3 系列低成本质量流量控制器 (MFC)。其核心定位是在不牺牲必要品质特性（如材质、泄漏规格）的前提下，通过量产化和针对特定应用优化，实现大幅度的成本降低。它主要面向需要定流量、长时间稳定控制及高重复性的制程，以及研究所的简易流量控制场景，是追求成本优势的理想选择。

二、 核心技术和原理

1. 热式传感原理：采用可靠的热传感器（Thermal Sensor），基于热传导原理测量气体的质量流量，不受环境温度和压力波动的影响，确保测量准确性。
2. 电磁阀驱动：搭载高性能电磁阀（Solenoid Valve）作为执行机构，通过PID控制算法快速调节阀门开度，实现对流量的**控制。
3. 可变PID系统：配备“可变PID系统”，可根据流量设定点的变化自动优化PID系数，确保在满量程流量和不同气体条件下均能实现1秒以内的高速响应。
4. 自动调零功能：内置自动调零（Auto Zero）功能，可定期或手动执行，有效消除零点漂移，保证长期运行的精度和稳定性。

三、 产品优势与特点

• 成本优势：作为MARK3系列的核心型号，通过限定适用气体种类和流量范围进行大规模量产，在保持与SEC-400/500系列相同材质（SUS316L）和泄漏规格（≤1×10⁻⁸ Pa·m³/s He）的同时，实现了显著的成本降低。
• 高重复性与稳定性：重复性高达 ±0.2% F.S.，特别适合需要长时间、高重复性的定流量控制工艺。
• 高精度与快速响应：流量精度为 ±1% F.S.，响应速度在 1秒以内 (T98)，线性度为 ±0.5% F.S.，满足大多数工业制程的控制需求。
• 广泛的流量范围：在同一系列中，可提供从 10 SCCM 到 10 SLM（以N₂为标准）的多种标准量程，覆盖从微小流量到中等流量的控制需求。
• 可靠的材质与密封：气体接触部分采用 SUS316L不锈钢、氟化橡胶、PTFE 等材质，确保对非腐蚀性气体的兼容性和极低的泄漏率。
• 模拟信号接口：采用标准的 0-5VDC 模拟信号进行流量设定和输出，易于集成到各类控制系统中。

四、 主要应用场景

1. SEC-E40MK3 凭借其高性价比和可靠性，广泛应用于一般产业市场和部分高科技领域：
   1. 一般工业制程：如燃烧器气体控制、吹扫气体（Purge Gas）流量控制、大气气体控制等。
   2. 实验室与研发：研究所、大学实验室的简易气体流量控制、气体传感器评估、燃烧室性能测试等。
   3. 生物与生命科学：生物反应器中的空气、氧气、二氧化碳等气体的流量控制。
   4. 光伏与LED：在LED、FPD（平板显示）及太阳能光电制造中，用于非关键性或大流量的工艺气体控制。
   5. 自动化设备：需要集成流量控制功能的自动化设备、混合气体配比系统等。