HORIBA 堀场 SEC-E50MK3 数字质量流量控制器

一、 产品定位

二、 核心技术和原理

1. 1. 热式传感技术：搭载高可靠性的热传感器（Thermal Sensor），利用热传导原理进行测量。由于直接测定流体的质量，因此不易受环境温度和压力等外在因素的影响，能实现高精度的流体测量。
   2. 电磁阀驱动技术：配备高性能的电磁阀（Solenoid Valve）及非通电时关闭（Fail-Close）的**阀门设计，确保在断电或异常情况下自动切断气源，保障系统**。
   3. 自动清零功能（Auto Zero）：内置自动清零调整功能，能够自动修正零点漂移，确保长时间运行下的测量与控制精度。

三、 产品优势与特点

1. 成本优势：在保证与常规型号（如 SEC-400/500 系列）相同的材质和极低外部泄漏率（1×10⁻⁸ Pa·m³/s 以下）的基础上，实现了大幅度的成本降低。
2. 出色的控制性能：流量精度达 ±1% F.S.，直线性 ±0.5% F.S.，反复性高达 ±0.2% F.S.，且响应速度在 1 秒以内（T98）。
3. 广泛的适用性：支持从 0.2 SCCM 到 500 SLM（以 N2 为标准）的宽广流量控制范围。MK3 型号特别适用于 N2、O2、空气、H2、Ar、He 等非腐蚀性气体。
4. 高可靠性材质：气体接触部采用 SUS316L、氟化橡胶、PTFE 及磁性不锈钢，耐腐蚀性强，适应多种工业环境。
5. 模拟信号兼容：提供标准的 0.1~5VDC 流量设定信号和 0~5VDC 流量输出信号，易于集成到各类自动化控制系统中。

四、 主要应用场景

1. 1. 半导体与微电子制造：用于扩散炉、CVD/PVD 镀膜设备、刻蚀机等制程中的高纯气体流量精准控制。
   2. 太阳能光伏工业：光伏电池生产过程中的各类工艺气体控制。
   3. 一般工业与化工：燃烧器气体控制、大气气体控制、混合气体配比生产、换气量测量及化工/石化制程。
   4. 生物反应与生命科学：生物反应器中 Air、O2、CO2 等气体的精密流量控制。
   5. 实验室与研发测试：作为研究所、高校实验室的简易流量控制设备，或用于气体传感器、燃烧室性能评估设备。